На заводі з виробництва кристалів SiC є пластини розміром 150 мм, які знаходяться у пристрої для літографії та готові до процедури обробки фотоотповідником. Навіть незначне зміщення температури на кілька градусів може порушити контроль за критичними параметрами, що призведе до значних втрат. Тож лампа-нагрівач не може бути просто джерелом тепла – вона повинна функціонувати як точний термічний пристрій.
Що є важливим у конструкції
Ми створили лампу-нагрівач для обробки пластин SiC на основі короткохвильових інфрачервоних галогенових випромінювачів, розміщених у кварцовому корпусі. Це забезпечує швидку реакцію та стабільну потужність випромінювання. У зоні нагріву досягається однорідність температури на рівні ±0,1°C, а точність регулювання температури становить ±0,5°C між серіями продукції. Швидкість передачі енергії підлаштовується під потреби процедур м’якого та жорсткого нагріву фотоотповідника. Термічний профіль залишається стабільним протягом 5 000+ годин, з втратою потужності менше 5%. Корпус лампи сумісний з умовами чистої кімнати класу 1–100; наявні спеціальні елементи для запобігання утворенню частинок під час роботи.
Чому це підходить для виробництва кристалів SiC
При виробництві кристалів SiC дуже важливо контролювати температуру, а вартість однієї пластини є високою. Ця лампа забезпечує необхідну точність для контролю параметрів нагріву фотоотповідника, що дозволяє зменшити кількість відходів та необхідність переробки продукції. Швидке нагрівання скорочує час виконання процедур, а стабільне випромінювання дозволяє економити енергію. Конструкція лампи відповідає міжнародним стандартам обладнання для виробництва напівпровідників, тож її можна використовувати без необхідності переоснащення всього обладнання.
Кілька практичних порад
Встановлення лампи полягає у підключенні її до інтерфейсу обладнання та перевірці напруги. Неправильне підключення може призвести до порушення однорідності температури. Лампа підходить для використання зі стандартними станціями нагріву, але необхідно налаштувати геометрію відбивача від розміру пластини. Після встановлення лампи необхідно провести швидку калібрацію, щоб налаштувати параметри роботи обладнання.