ในกระบวนการผลิตที่มีความยาว 300 มิลลิเมตรนั้น เครื่องจัดการกำหนดเวลาจะไม่หยุดการทำงานเพียงเพราะค่าพารามิเตอร์การอบมีความเบี่ยงเบนเล็กน้อย แม้ว่าค่าการอบจะเบี่ยงเบนไปเพียงครึ่งองศาเดียว ก็อาจส่งผลให้ความหนาของชั้นวัสดุเปลี่ยนแปลงไป ซึ่งอาจนำไปสู่การทิ้งวัสดุที่ไม่สามารถใช้งานได้ในที่สุด นอกจากนี้ เตาอบแบบคอนเวกชันยังสร้างปัญหาเรื่องพื้นที่ในห้องสะอาดและเวลาในการอบอีกด้วย ส่วนเตาอบแบบฮอตแพลตนั้น ก็ก่อให้เกิดความแตกต่างของอุณหภูมิระหว่างขอบกับตรงกลางของวัสดุ ซึ่งทำให้ต้องประนีประนอมระหว่างประสิทธิภาพการผลิตกับคุณภาพของวัสดุ ซึ่งเป็นสิ่งที่ไม่ควรเกิดขึ้น
สิ่งที่สำคัญจริงๆ
เราออกแบบเครื่องปล่อยรังสีอินฟราเรดแบบเชิงเส้นโดยคำนึงถึงข้อจำกัดสำคัญอย่างหนึ่ง นั่นคือความสม่ำเสมอของอุณหภูมิทั่วทั้งแผ่นวัสดุ ไม่ใช่เพียงค่าเฉลี่ยเท่านั้น รังสีอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้นจะผ่านช่องแก้วที่มีความเสถียร โดยถูกปรับให้รังสีถูกดูดซับโดยชั้นโฟโตรีซิสต์โดยตรง ซึ่งช่วยให้อุณหภูมิของวัสดุอยู่ในระดับที่สม่ำเสมอ โดยมีความคลาดเคลื่อนไม่เกิน ±0.1°C ในบริเวณที่มีการอบ นอกจากนี้ การเพิ่มอุณหภูมิก็เกิดขึ้นในเวลาเพียงไม่กี่มิลลิวินาทีเท่านั้น เครื่องปล่อยรังสีนี้สามารถใช้งานได้ในห้องสะอาดระดับ Class 1–100 เนื่องจากมีการปิดผนึกอย่างดี ทำให้ไม่มีอนุภาคเกิดขึ้นเลย และการปล่อยก๊าซก็ถูกควบคุมไว้ เพื่อให้ชั้นโฟโตรีซิสต์ได้รับการปกป้องอย่างดี
เหตุใดวิธีนี้จึงใช้งานได้จริงในการผลิต
ในระหว่างการผลิต เครื่องปล่อยรังสีนี้สามารถทำงานได้ตลอด 24 ชั่วโมง โดยไม่มีเวลาหยุดทำงานที่ไม่คาดคิด ค่าพารามิเตอร์การอบจะมีความสม่ำเสมอเสมอ ไม่มีความเบี่ยงเบนที่ทำให้ต้องทำการทดสอบใหม่ ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิช่วยลดความแปรปรวนของค่า CD และลดความจำเป็นในการทำงานซ้ำ นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลง เนื่องจากเราเพียงแค่ให้ความร้อนกับบริเวณที่ต้องการเท่านั้น ไม่ใช่ทั้งห้องอบ อายุการใช้งานของเครื่องปล่อยรังสีนี้สามารถอยู่ได้มากกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีการลดลงของกำลังการปล่อยรังสีไม่เกิน 5% เท่านั้น ดังนั้นคุณจึงไม่จำเป็นต้องมีชิ้นส่วนสำรองมากนัก และยังช่วยลดค่าใช้จ่ายในการบำรุงรักษา รวมถึงลดความเสี่ยงในการเปลี่ยนอุปกรณ์อีกด้วย
สิ่งที่คุณต้องคำนึงถึง
เครื่องปล่อยรังสีนี้ต้องการการปรับแต่งทางกล้องอย่างแม่นยำ และต้องมีระบบจ่ายพลังงานที่มีความเสถียร เพื่อให้รังสีมีความสม่ำเสมอในบริเวณที่ต้องการ หากการปรับแต่งไม่ถูกต้อง ก็จะเกิดบริเวณที่มีอุณหภูมิสูงขึ้นบนแผ่นวัสดุ นอกจากนี้ คุณยังต้องมีระบบทำความสะอาดและรักษาความแห้งเพื่อป้องกันไม่ให้ช่องแก้วมีความชื้นในขณะอบด้วยอุณหภูมิต่ำ คุณควรวางแผนการติดตั้งเครื่องปล่อยรังสีนี้เข้ากับระบบควบคุมการอบ และตรวจสอบค่าการดูดซับของโฟโตรีซิสต์ให้ถูกต้อง เพื่อให้สามารถตั้งค่าความเข้มของรังสีอินฟราเรดได้อย่างถูกต้อง