Как сохранить чистоту в помещении класса 100
Если вы нагреваете кремниевые пластины в условиях помещения класса 100, вы знаете, насколько опасен процесс выделения газов из материала. Одна-единственная крошечная частица или случайный выброс летучих органических веществ могут привести к тому, что весь партийный продукт станет бесполезным. Это действительно разочаровывает.
Поэтому мы перестали использовать обычные нагревательные элементы. Вместо этого мы используем инфракрасные лампы из высокочистого синтетического кварца.
Почему именно кварц?
Металлические нагреватели со временем окисляются или трескаются. Это может привести к катастрофическим последствиям в условиях чистой комнаты. Наш кварц настолько чист, что предотвращает перемещение металлических ионов. К тому же это безконтактный процесс: инфракрасное излучение попадает непосредственно на поверхность пластины. Нет контакта, нет трения, а значит, и никакого физического износа. Это просто чистая, прямая энергия.
Подход «нулевого загрязнения»
Мы устранили все лишние компоненты: нет клеев, дешевых полимеров — ничего, что могло бы выделять газы или частицы. Все узлы имеют химическую инертность.
Мы также уделили много внимания вопросу термического расширения. Эти лампы не трескаются при быстром циклировании.
Однако следует помнить: при работе на максимальной мощности лампы становятся очень горячими. Убедитесь, что ваша система вакуума или подачи воздуха способна справляться с таким теплом, иначе корпус лампы может перегреться.
Интеграция в производственный процесс
Размеры ламп минимальны, поэтому их можно легко установить в существующие производственные установки. Они предназначены для замены существующих нагревателей, поэтому вам не нужно часами возиться с ремонтом оборудования.
Кроме того, благодаря использованию высокочистых материалов на стекле не появляется того неприятного налета, который обычно возникает при использовании дешевых аналогов. Пропускание инфракрасного излучения остается высоким на протяжении всего времени работы.
Если источник питания стабилен и работает без шума, то температурный режим на всей поверхности пластины будет одинаковым. Все просто.