Как сохранять прохладу в оборудовании для производства полупроводников (при этом сохраняя высокую температуру внутри устройства)
Это одна из распространенных проблем в оборудовании для производства полупроводников: необходимо, чтобы внутри устройства была высокая температура, но при этом внешняя поверхность не должна быть слишком горячей.
Если использовать метод конвективного нагрева, тепло просто рассеивается по всему корпусу, что делает внешние поверхности опасными для оператора. К тому же тратится много энергии на нагрев металлических деталей, которые на самом деле не нуждаются в такой температуре.
Решение заключается в использовании направленного нагрева.
Для этой цели мы используем лампы с коротковолновым инфракрасным излучением. Это похоже на использование фонарика вместо обычного обогревателя. Инфракрасные лучи движутся по прямой линии, поэтому они нагревают только те поверхности, на которые падают. С помощью специальных отражателей можно направить тепло именно на пластину или компонент. Остальная часть устройства остается в безопасности.
Но нельзя просто поставить лампу туда и забыть о ней. Необходимо правильно выбрать длину волны и фокусировку лампы. Мы предпочитаем использовать лампы с коротковолновым излучением, потому что они лучше проникают сквозь воздух. Цель — создать точечную зону нагрева.
Если отражатель расположен неправильно или лампа слишком большая для данного пространства, все равно возникает проблема с перегревом. Поэтому мы всегда рекомендуем заранее спланировать расположение ламп.
Результат того стоит.
Во-первых, операторы не будут случайно обжигать руки о горячий металлический корпус. К тому же система климат-контроля в чистой комнате будет благодарна вам за это. Вы не будете выбрасывать лишнее тепло в помещение, что способствует более стабильной среде.
Однако есть и некоторые недостатки. Лампы с инфракрасным излучением не работают вечно — они выходят из строя быстрее, чем обычные резистивные обогреватели. Необходимо иметь план технического обслуживания, чтобы своевременно заменять лампы. Кроме того, из-за высокой интенсивности излучения необходимо использовать соответствующие защитные устройства. Нельзя позволять кому-либо смотреть прямо на лампы во время обслуживания.