Подумайте о том, как работает обычная конвекционная печь. Она нагревает воздух, а затем этот воздух нагревает детали, которые находятся внутри печи. В чистой комнате для обработки полупроводников это просто пустая трата энергии. Вы тратите деньги на нагрев стенок печи и воздуха вокруг нее, что является бесполезной тратой ресурсов. Самое худшее заключается в том, что поверхность оборудования становится чрезмерно горячей. Никто не хочет, чтобы операторы получили ожоги из-за того, что корпус оборудования превращается в радиатор.
Поэтому мы перешли на использование инфракрасного обогрева. Секрет заключается в том, что инфракрасные лампы используют электромагнитное излучение для передачи энергии непосредственно к детали. Таким образом не нужно нагревать всю внутреннюю часть печи. Мы направляем тепло именно туда, где это необходимо. Благодаря этому внутренние стенки печи остаются прохладными. Детали нагреваются гораздо быстрее, а операторы не вынуждены избегать горячих поверхностей.
Но нельзя просто поместить любую лампу внутрь печи. Мы используем кварцевые лампы с короткими волнами, так как они способны генерировать большое количество тепла в небольшом пространстве. Но есть и недостаток: лампы с высокой мощностью могут повредить материал, если их расположить близко к детали без учета фокуса и защиты. Все зависит от баланса между мощностью и расстоянием, чтобы не повредить материал.
Чтобы все это функционировало в чистой комнате, необходимо использовать специальные контроллеры типа PID, которые помогают поддерживать оптимальную температуру. А поскольку тепло распространяется направленно, мы можем размещать лампы ближе к объекту нагрева. Корпус печи не поглощает тепло, что решает проблему горячих стенок. Ваша команда может работать прямо рядом с оборудованием без опасений, а система кондиционирования не будет вынуждена бороться с огромным источником тепла в центре комнаты. Все работает как надо.