クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つ方法
もしクラス100の環境でシリコンウェーハを加熱しているのであれば、ガスが発生するという問題をご存知でしょう。わずかな微粒子やVOCが混入するだけで、作業したウェーハ全体が無価値になってしまいます。本当に厄介です。
そのため、私たちは通常のヒーターを使うのをやめ、高純度の合成石英製のIRランプを使用しています。
なぜ石英か？
金属製のヒーターは時間が経つにつれて酸化したり剥がれたりする傾向があります。これはクリーンルームでは大きな問題になります。私たちが使用している融着石英は、金属イオンの移動を防ぐほど純度が高いのです。
また、非接触式のため、IR放射線が直接ウェーハ表面に当たります。触れることもないし、摩耗も一切ありません。まさに純粋なエネルギーです。
「ゼロ汚染」アプローチ
私たちは、接着剤や安価なポリマーなど、何かしらガスを発生させたり微粒子を放出したりする可能性のあるものはすべて排除しました。すべてのシール部品も化学的に安定しています。
また、熱膨張の問題にも十分注意しました。急激に温度を変えても、このチューブは割れません。
ただし、最大出力で動作させると非常に高温になります。真空ポンプや空気循環システムがその熱に対応できるか確認してください。そうしないと、装置自体が過熱してしまいます。
作業フローへの組み込み
サイズを小さくしており、既存の処理装置に簡単に取り付けられます。ドロップイン型の設計なので、何時間も装置が使えないということはありません。
また、高純度の材料を使用しているため、安価な製品でよく見られるガラス表面の曇りもありません。IR放射の透過率も長期間にわたって安定しています。
電源が安定していれば、ウェーハ全体に均一な温度分布が得られます。それだけです。