通常の対流式オーブンがどのように動作するかを考えてみてください。まず空気が加熱され、その空気が部品を温めます。半導体クリーンルームでは、これは単なるエネルギーの無駄遣いに過ぎません。オーブンの壁や機械周辺の空気を温めるためにお金がかかり、非常に非効率的です。最悪なのは、装置の外側が極端に高温になってしまうことです。チャスисがラジエーターのようになってしまい、作業員が火傷を負う可能性もあります。
だからこそ、私たちは指向性赤外線加熱を採用しました。 その仕組みというのは、赤外線ランプが電磁波を利用してエネルギーを直接部品に送り込むというものです。オーブンの内部全体を温める必要はありません。必要な場所だけを正確に加熱すればよいのです。そのおかげで、オーブンの内壁は冷たいままです。部品を迅速に所定の温度に持っていくことができ、技術者も高温の表面を避ける必要がありません。
ただし、適当なランプを使ってはいけません。短波長の石英ランプを使用するのです。これにより、狭いスペースに多くの熱を集中させることができます。しかし、高ワット数のランプは強力すぎます。焦点や遮蔽に注意しないで高功率のランプを使ってしまうと、基板上の材料が損傷してしまいます。重要なのは、ワット数と距離をうまく調整して、材料を損傷させないようにすることです。
クリーンルームでこのシステムを使うには、少しの工夫が必要です。迅速に反応するPIDコントローラーを使って、温度が上昇しすぎて製品が損傷しないようにします。
また、熱が指向性を持っているため、ランプをターゲットに近づけることができます。オーブンのチャスисが熱を吸収しないため、「高温の壁」という問題も解決されます。作業員は何の心配もなく機械のすぐそばで作業でき、HVACシステムも部屋の中央にある巨大な熱源と戦う必要がありません。ごく自然に機能するのです。