Mempertahankan Kebersihan Ruang Kerja Kelas 100 yang Maksimal
Jika Anda memanaskan wafer silikon di lingkungan kelas 100, Anda pasti tahu betapa menyebalkannya situasi ketika terjadi pelepasan gas dari bahan-bahan tersebut. Satu potong kecil bahan atau zat VOC yang berada di sana saja sudah cukup untuk membuat seluruh produk yang diproses menjadi tidak berguna. Sangat menjengkelkan.
Itulah sebabnya kami berhenti mengandalkan elemen pemanas biasa. Sebagai gantinya, kami menggunakan lampu IR berbahan kuarsa sintetis berkualitas tinggi.
Mengapa kuarsa?
Elemen pemanas yang dilapisi logam cenderung beroksidasi atau terkelupas seiring waktu. Hal ini tentu akan merusak kondisi ruang kerja yang bersih. Kuarsa yang digunakan oleh kami memiliki kualitas sangat tinggi, sehingga mampu mencegah ion logam masuk ke dalam permukaan wafer.
Selain itu, proses pemanasan menggunakan kuarsa merupakan proses tanpa kontak fisik. Radiasi IR langsung mengenai permukaan wafer. Tidak ada sentuhan atau gesekan sama sekali, sehingga tidak ada risiko kerusakan fisik pada wafer.
Pendekatan “Nol Polusi”
Kami telah menghilangkan semua bahan yang tidak diperlukan. Tidak ada bahan perekat atau polimer murahan yang bisa melepaskan gas atau partikel. Setiap sambungan antar komponen juga dirancang sedemikian rupa agar tidak menimbulkan reaksi kimia apa pun.
Kami juga memperhatikan aspek ekspansi termal. Tabung-tabung ini tidak akan retak meskipun digunakan dalam kondisi suhu yang tinggi.
Namun, perlu diingat bahwa tabung-tabung ini akan menjadi sangat panas saat digunakan pada daya maksimum. Pastikan sistem vakum atau aliran udara Anda mampu menangani panas tersebut, agar casing tabung tidak overheat.
Mengintegrasikannya ke Dalam Proses Produksi
Desain tabung ini memungkinkannya dimasukkan ke dalam chamber pemrosesan yang sudah ada. Tabung ini dirancang sebagai pengganti yang cocok untuk digunakan langsung, sehingga Anda tidak perlu menunggu berjam-jam hingga proses selesai.
Karena kami menggunakan bahan berkualitas tinggi, Anda tidak akan melihat gangguan berupa “awan” di permukaan kaca, seperti yang sering terjadi pada opsi yang lebih murah. Transmisi radiasi IR tetap optimal dalam jangka panjang.
Selama pasokan daya stabil dan tanpa gangguan, Anda akan mendapatkan profil termal yang konsisten di seluruh permukaan wafer. Sangat sederhana.