Hentikan Proses Pemanasan Udara: Cara Lebih Baik untuk Mengeringkan Wafer MEMS
Jika Anda pernah terlibat dalam proses pembuatan MEMS, Anda pasti tahu betapa sulitnya mengeringkan wafer tersebut. Ini merupakan proses yang membutuhkan keseimbangan yang tepat. Anda ingin wafer tersebut benar-benar kering tanpa sisa zat apa pun, tetapi Anda tidak bisa menggunakan panas yang berlebihan, karena hal itu akan merusak struktur wafer tersebut.
Kebanyakan orang hanya memasukkan wafer tersebut ke dalam oven konvensional. Masalahnya adalah oven tersebut memanaskan segala sesuatu di sekitarnya—udara, dinding, dan sebagainya. Hanya wafernya saja yang tidak dipanaskan. Hal ini merupakan pemborosan energi, dan juga merepotkan bagi orang yang harus melakukan perawatan pada oven tersebut. Sangat menakutkan jika kita menyentuh bagian dinding oven yang masih panas sekali.
Itulah mengapa kami beralih ke metode pemanasan yang lebih efektif, yaitu menggunakan lampu IR berfrekuensi tinggi.
Bagaimana cara kerjanya?
Bayangkan saja: proses konvensional ibarat mencoba memanaskan ruangan menggunakan pemanas ruangan biasa. Sedangkan IR mirip dengan senter, tetapi mengeluarkan panas. Energi panas tersebut bergerak secara lurus dari filamen lampu langsung ke wafer. Karena panasnya ditujukan tepat ke wafer, maka energi tidak terbuang sia-sia untuk memanaskan udara di sekitarnya. Hasilnya, wafer mendapatkan panas yang dibutuhkannya, sedangkan bagian luar alat tetap dingin saat disentuh.
Memilih spesifikasi yang tepat
Kami biasanya menggunakan tabung halogen kuarsa berintensitas tinggi. Kami memilih kuarsa karena bahan ini memungkinkan radiasi frekuensi tinggi melewati tabung tersebut tanpa menyerap energinya. Dengan begitu, Anda dapat memperoleh intensitas panas yang tinggi untuk mengeringkan wafer dengan cepat.
Namun, ada hal yang perlu diperhatikan: sudut pantulan cahaya. Anda perlu memastikan sudut pantulan tersebut tepat. Jika penyelarasan salah sedikit saja, maka wafer tidak akan dipanaskan—yang terjadi justru dinding ruangan yang dipanaskan. Itulah sebabnya kita harus memastikan penyelarasan yang tepat.
Realitas pemasangan
Proses pemasangan bukanlah hal yang mudah. Lampu IR berdaya tinggi membutuhkan arus listrik yang besar. Jika sumber listrik Anda tidak mampu menahan lonjakan arus saat lampu dinyalakan, maka Anda akan menghadapi masalah.
Selain itu, berhati-hatilah saat memegang tabung kuarsa tersebut. Tabung ini sangat rapuh. Satu kesalahan kecil saja saat memindahkannya sudah cukup untuk merusak tabung tersebut.
Untuk memudahkan proses pemasangan, kami menyarankan penggunaan konektor standar. Dengan begitu, tabung tersebut dapat diganti dengan mudah. Pastikan juga untuk memperhatikan waktu penyesuaian suhu. Jika Anda memaksakan daya yang terlalu tinggi untuk mempercepat proses pengeringan, maka filamen lampu akan cepat rusak. Yang penting adalah menemukan keseimbangan antara kecepatan dan umur pakai lampu tersebut.