अपने फैब्रिकेशन सुविधाओं में ऊर्जा की बर्बादी रोकें।
अधिकांश हीटिंग उपकरण, बल्बों की तरह ही काम करते हैं – वे ऊर्जा को हर दिशा में फैला देते हैं। सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रिया में यह एक बड़ी समस्या है। जब हम किसी वेफर को गर्म करने की कोशिश करते हैं, लेकिन वास्तव में उपकरण के अंदरूनी हिस्से ही गर्म हो जाते हैं, तो ऐसे में ऊर्जा की बर्बादी होती है। इसके अलावा, ऐसी स्थिति में उपकरण एक विशाल “रेडिएटर” की तरह काम करने लगता है, जिससे ऑपरेटरों को चोट लग सकती है।
हम इस समस्या को दिशात्मक इन्फ्रारेड तकनीक के उपयोग से हल करते हैं।
यह तकनीक कैसे काम करती है?
सामान्य लैंप ऊर्जा को हर दिशा में फैला देते हैं। हम रिफ्लेक्टरों एवं चयनात्मक एमिटरों का उपयोग करके उस इन्फ्रारेड ऊर्जा को सीधे सब्सट्रेट तक पहुँचाते हैं। इस तरह, उपकरण का बाहरी हिस्सा ठंडा ही रहता है, भले ही अंदर की स्थिति बहुत गर्म ही क्यों न हो।
उचित तापमान बनाए रखना
आप केवल उच्च-वॉटेज वाले लैंपों का उपयोग करके अच्छे परिणामों की उम्मीद नहीं कर सकते। यदि लैंप से निकलने वाली ऊर्जा, सब्सट्रेट द्वारा अवशोषित ऊर्जा के बराबर न हो, तो वह ऊर्जा वेफर पर ही वापस आ जाती है। इसलिए हम विशिष्ट तरंगदैर्घ्य वाले लैंपों का ही उपयोग करते हैं, ताकि वेफर वास्तव में उस ऊर्जा को अवशोषित कर सके।
इसके अलावा, आपकी HVAC प्रणाली को भी फायदा होगा… आपको अब अपने उपकरणों से निकलने वाली गर्मी से लड़ने की आवश्यकता नहीं है।
चुनौतियाँ एवं उनका समाधान
दिशात्मक हीटिंग कोई जादुई तरीका नहीं है। जब हम ऊर्जा को एक विशिष्ट बिंदु पर केंद्रित करते हैं, तो वहाँ बहुत अधिक तापमान हो जाता है। यदि आपकी स्थिति में कुछ मिलीमीटर की भी त्रुटि हो जाए, तो वेफर पर गर्म बिंदु बन जाएंगे। इसलिए लैंपों की स्थिति बिल्कुल सही होनी आवश्यक है… कोई भी त्रुटि नहीं होनी चाहिए।
यदि आपको यह पता न हो कि आपकी स्थिति क्या है, तो एक थर्मल कैमरा उपयोग करके उपकरण के अंदरूनी हिस्से का तापमान जाँचें। यदि उपकरण की सतह का तापमान 45°C या उससे अधिक है, तो ऊर्जा बाहर निकल रही है। दिशात्मक इन्फ्रारेड तकनीक का उपयोग करने से आपकी प्रक्रिया का तापमान ठीक वैसा ही रहेगा, जैसा आवश्यक है… और किसी को चोट लगने का कोई खतरा नहीं रहेगा।