Role
एक बार जब वैफर लिथोग्राफी से निकल जाता है, तो उसे पैकेजिंग लाइन पर डाई अटैच के लिए भेजा जाता है। उस सौंपने से पहले, आपको सतह से हर तरह की नमी को पूरी तरह हटाना होता है। यदि कोई नमी बाकी रह जाती है तो आप अंडरफिल में voids, बॉन्ड इंटरफेस पर delamination, या एक छिपा हुआ विश्वसनीयता नुकसान जो इन-लाइन निरीक्षण में दिखाई नहीं देगा, के जोखिम में रहते हैं।
ड्राइंग चरण कोई निष्क्रिय प्रतीक्षा नहीं है—यह एक सक्रिय थर्मल प्रक्रिया है जो पूरी encapsulation श्रंखला के लिए आधार तैयार करती है।
वास्तविक दुनिया में जो मायने रखता है वह है निरंतर नियंत्रण जिस पर आप दिन-प्रतिदिन भरोसा कर सकें। हमारे ड्राइंग मॉड्यूल वैफर-स्तर पर ±0.1°C के भीतर तापीय समानता बनाए रखते हैं, क्लीनरूम Class 1–100 में चलते हैं, और चक्र के दौरान कोई पार्टिकल उत्पन्न नहीं करते।
हम तेज़, गैर-संपर्क एनर्जी डिलीवरी के लिए NIR हीटिंग का उपयोग करते हैं, ताकि सतह लक्षित तापमान तक पहुंचे बिना पूरे बॉडी का तापमान बहुत अधिक न बढ़े। यह तापमान सटीकता सीधे फोटोरेसिस्ट के बेकिंग चरणों — सॉफ्ट बेक और हार्ड बेक — में परिलक्षित होती है, जिससे स्थिर क्रिटिकल डाइमेंशन नियंत्रण मिलता है और कम स्कम दोष होते हैं। तापीय प्रोफ़ाइल में पुनरावृत्ति अंतर्निहित है, और उपकरण 24/7 विश्वसनीयता के साथ प्रोडक्शन लाइन को निरंतर चलाए रखता है।
सरल बात यह है: आपको थर्मल बजट को सख्ती से प्रबंधित करना होता है ताकि डाई अटैच और एनकैप्सुलेशन दोनों एक ही सतह की स्थिति को बार-बार देख सकें। सघन समानता से स्क्रैप में कमी होती है, परिवर्तन समय तेज होता है, और प्रति बैच ऊर्जा खपत कम होती है।
प्रक्रिया खिड़की बिना थ्रूपुट का त्याग किए खुलती है, और उपकरण मौजूदा पैकेजिंग फ्लोज़ में साफ़ तरीके से समाहित हो जाता है।
कुछ व्यावहारिक नोट्स। NIR ड्राइंग सब्सट्रेट की रिफ्लेक्टिविटी और एमिसिविटी के प्रति संवेदनशील होती है, इसलिए थर्मल प्रोफ़ाइल को प्रत्येक उत्पाद स्टैक के लिए ट्यून करना पड़ता है।
इंस्टॉलेशन का मूल आधार उपकरण के एयरफ़्लो के अनुरूप निकास और मेक-अप एयर को मिलाना, तथा पार्टिकल प्रदर्शन को आवश्यक स्तर पर बनाए रखने के लिए चेंबर को हैंडलर के साथ संरेखित करना है। हम क्वालिफिकेशन समय कम करने हेतु एप्लिकेशन डेटा और इंटरफेस स्पेसिफिकेशन प्रदान करते हैं।