בקו של 300 ממ, המנחה אינו עוצר את התהליך רק בגלל שהפרופיל של תהליך האפייה משתנה. אפייה לא מדויקת בחצי מעלה יכולה לגרום לשינויים ברוחב הקו, מה שעלול לגרום לבזבוז חומרים. תנורי חימום גורמים לבעיות בנושא שטח העבודה הנקי וזמן העבודה; והלוחות החמים יוצרים גרסיות בין הקצוות למרכז, מה שמחייב התמודדות עם בעיות שקשה לפתור.
מה באמת חשוב יצרנו את הגוף הפולט אינפרא-אדום תוך התחשבות במגבלה אחת חשובה: אחידות הטמפרטורה על פני כל שטח הוואפר, ולא רק הערך הממוצע. אור אינפרא-אדום בגלים קצרים עובר דרך חלון קוורץ שנמצא במצב יציב, כך שהאור ייספג באופן אופטימלי על ידי שכבת הפוטורזיסט. כך נמנעת עלייה בטמפרטורה של הוואפר.
התוצאה היא אחידות של ±0.1°C בכל שטח האפייה, עם זמן תגובה של מספר מילישניות בלבד. הגוף הפולט יכול לפעול בחדרי עבודה נקיים מסוג Class 1–100, מכיוון שההרכבה שלו סגורה – ייצור של חלקיקים כמעט שאינו קיים, והפליטה של גזים נשלטת, כך ששכבת הליתוגרפיה נשמרת.
למה זה עובד בייצור בשטח הייצור, הגוף הפולט פועל 24/7 ללא הפסקות. פרופילי האפייה נשארים עקביים, ללא שינויים שעלולים לדרוש בדיקות חוזרות. האחידות הגבוהה מפחיתה את השונות בקוטר הוואפר, משפרת את איכות ההדבקה, ומפחיתה את הצורך בעבודות תיקון.
שימוש באנרגיה פוחת, מכיוון שאנו מחממים רק את האזור הרלוונטי, ולא את כל החדר. חיי הגוף הפולט עולים על 5,000 שעות, עם ירידה בהספק של פחות מ-5%. כך ניתן להשתמש בכמות קטנה יותר של חלקי חילוף, לחסוך בעלויות תחזוקה, ולהימנע מסיכונים במהלך שינוי הציוד.
דברים שצריך לקחת בחשבון הגוף הפולט דורש התאמה אופטית מדויקת, וכן מערכת אספקת חשמל מבוקרת, כדי לשמור על יציבות הספקטרום במקום הנכון. אם ההתאמה אינה מדויקת, ייווצרו אזורים חמים על פני הוואפר.
יש גם צורך באוויר נקי ויבש, כדי שהחלון לא יתערפל בטמפרטורות נמוכות. יש לתכנן את השילוב של הגוף הפולט במערכת הפיקוד של הליתוגרפיה, ולוודא שהערכים של ספיגת הפוטורזיסט נקבעים כראוי, כדי לשמור על עוצמת האור הנכונה.