במפעל הייצור, תהליכי החריטה ומילוי של TSV אינם משאירים מקום לשינויים תרמיים. שינוי של 2°C במהלך תהליך החימום עלול לפגוע בשליטה בממדים החשובים של המוצר, ולגרום ליצירת חללים באזורי המילוי. החיממן של TSV שומר על אחידות הטמפרטורה ברמה של ±0.1°C לאורך כל תהליך הייצור.
מה חשוב באמת? יצרנו את החיממן של TSV באמצעות נורות הלוגן בעלות תגובה מהירה, שמותאמות לגלים ארוכים בתחום ה-NIR – כך שהחומרים השונים יכולים לספוג את האנרגיה ישירות. נקודות הטמפרטורה המבוקשות מושגות בתוך זמן של פחות משנייה, ושיעורי השינוי בטמפרטורה נשארים בטווח של 0.5°C/שנייה. המערכת יכולה לפעול בחדרי ייצור נקיים מסוג Class 1–100, ללא הוספת חלקיקים – עם רמת חלקיקים של ≤0.1 חלקיקים/סמ². המערכת מיועדת לפעול 24/7 ללא הפסקות, והטמפרטורה נשמרת תחת שליטה, כך שאיכות המוצר לא נפגעת.
למה זה חשוב בייצור TSV אמיתי? כאשר משתמשים ב-TSV עם מרווחים קטנים וחומרים דיאלקטריים דקים, החיממן שלנו שומר על אחידות הטמפרטורה ברחבי הווה-טסט, כך שהתהליכים של חימום נשארים עקביים מלאי לאחר לאי. התוצאה היא תהליך ליתוגרפיה יציב, פחות צורך בעבודות תיקון, ואפשרות לאמינות באיטום החורים. צריכת האנרגיה יורדת, מכיוון שהנורות מגיעות לטמפרטורה המבוקשת במהירות, ושומרות עליה ללא סטיות – מה שמקצר את זמן הייצור מבלי לפגוע באיכות.
מה צריך לתכנן? ההתקנה דורשת אליינמנטציה אופטית מדויקת ומערכת פינוי אוויר מתאימה כדי להתמודד עם הגזים שנוצרים במהלך החימום. החיממן יכול לעבוד עם אינטרפייסים סטנדרטיים, אך מגבלות הגודל של הציוד הישן עלולות לדרוש שימוש באדפטרים מיוחדים. יש לבצע ניסויים קצרים כדי למדוד את הטמפרטורה ברחבי הווה-טסט ולכייל את המערכת. לאחר מכן, התהליך נשאר עקבי משמרה לשמרה.