במפעלי הייצור, פרופילי החימום של חומרי הציפוי אינם עניין של בחירה – אלא הם הגורם שקובע האם יהיה ייצור מוצלח או שהמוצרים ייזרקו לפח. שינוי של 2°C במהלך תהליך החימום יכול לגרום לשינויים בתכונות החומר, להיווצרות של שכבות לא רצויות, ולכישלון של כל המוצרים. ייצרנו את המנורות שלנו לעיבוד גרפן כדי להסיר את אי-הוודאות הזו.
מה באמת חשוב מבחינה טכנית המנורות האלו פולטות אור באורך גל של אינפרא-אדום, מה שמאפשר תגובה תרמית מהירה ומבוקרת. כך ניתן לשמור על אחידות טמפרטורה ברמת הוואפר, בטווח של ±0.1°C. המנורות שלנו שומרות על רמת קרינה יציבה במשך אלפי שעות – המנורות פועלות כבר 5,000 שעות ויותר, עם ירידה בהספק של פחות מ-5%.
המנורות מתאימות לסביבות נקיות מסוג Class 1–100, ללא ייצור של חלקיקים, והן מאפשרות שליטה מדויקת בטמפרטורה. ניתן להתאים את ההספק, המתח והממדים של המנורות לחיבורים ולמערכות הקיימות, כך שההתקנה תהיה פשוטה ולא דורשת עיצוב מחדש של המערכת.
למה זה עובד בתהליך הליתוגרפיה בתהליך הליתוגרפיה נדרש חימום עדין שיסיר את המסיסים מהחומר, מבלי לגרום להתכה שלו. בנוסף, נדרש חימום אינטנסיבי שיגרום להתקשות החומר, מבלי לגרום להיווצרות של שכבות לא רצויות. המנורות שלנו מגיעות לטמפרטורה הרצויה במהירות, שומרות עליה, ומאפשרות קירור צפוי. כך, כל ואפר זוכה לאותו תנאי טמפרטורי.
זה מביא לדיוק גבוה יותר בהדפסה, לפחות צורך בתיקונים, ולזמני עבודה קבועים שניתן לתכנן אותם. צריכת האנרגיה פוחתת, מכיוון שהמערכת מחממת את עצמה רק כשצריך, ושומרת על הטמפרטורה ברמה מינימלית. בנוסף, חיי המנורות הארוכים מקטינים את הצורך בחלקי חילוף ובזמני תחזוקה.
מה חשוב לדעת מראש המנורות האלו תוכננו כך שיתאימו לתקנים הבינלאומיים של ציוד חצאי-מוליכים. הן מהוות חלופה אמינה למקורות אור אינפרא-אדום רגילים. ההתקנה דורשת התאמה של גאומטרית המחזיר ושל המסלול האופטי – אם מחליפים את המנורות מבלי לבדוק את מרחק המוקד, האזור החם ישתנה.
יש לתכנן את ההתקנה בהתאם לגאומטריה של החדר, לזרימת הקירור ולמערכות הבקרה, כך שניתן יהיה לשמור על רמת חלקיקים נמוכה ועל זמני עבודה ארוכים.