Arrêtez de laisser votre chauffage gâcher votre système de vidange sous vide.
Si vous travaillez dans une salle propre de classe 100, vous connaissez bien le problème posé par les particules ou les émissions chimiques. Un petit morceau de débris suffit pour ruiner toute la production.
Le problème, c’est que la plupart des chauffages standard ne sont pas conçus pour cela. Ils utilisent des adhésifs, des revêtements bon marché ou des métaux qui se détériorent rapidement sous l’effet de la chaleur, ce qui entraîne des contaminants dans la chambre de vidange sous vide.
Nous avons trouvé une solution meilleure : des lampes infrarouges en quartz synthétique de haute pureté.
Le secret réside dans les matériaux
Nous utilisons du quartz fusionné. Il est extrêmement pur, ce qui signifie qu’il n’y a pas de risque d’émission de composés organiques volatils lorsque la température augmente. De plus, contrairement au verre ordinaire, ce matériau ne se fissure pas lorsque la température varie fortement. Nous avons également éliminé tous les liants organiques présents dans la structure de la lampe. Pourquoi ? Parce qu’en situation de vide, on veut que le chauffage reste silencieux. Pas d’émissions, pas de dommages aux wafer, pas de problèmes.
Gérer les défis liés au vide
En situation de vide, il n’y a que la radiation pour transférer la chaleur. Comme il n’y a pas d’air pour disperser la chaleur, la surface de la lampe peut devenir très chaude très rapidement. Nous avons donc conçu ces lampes pour qu’elles offrent une forte densité de puissance. Cela permet d’atteindre rapidement la température souhaitée, ce qui économise beaucoup de temps lors du processus de production.
Mais attention : vérifiez bien l’isolation thermique de la lampe. Si la radiation revient vers la carcasse de la lampe, cela peut endommager les électrodes.
Faire en sorte que cela fonctionne dans la réalité
Nous utilisons des connecteurs standards, donc ces lampes peuvent être remplacées sans difficulté. La vraie zone à risque, c’est généralement le joint entre le tube en quartz et le câble électrique. C’est là que se produisent la plupart des fuites. Pour éviter cela, nous utilisons un joint hermétique spécial qui empêche l’air d’entrer et maintient ainsi le vide.
Un dernier conseil : le quartz de haute pureté est résistant sur le plan chimique, mais il est fragile sur le plan physique. Si la pompe à vide vibre beaucoup, ces vibrations peuvent provoquer des micro-fissures avec le temps. Je recommande d’utiliser des supports amortis. C’est un petit détail, mais cela prolonge considérablement la durée de vie des lampes.