Pourquoi le séchage par rayons infrarouges sans ozone est la solution idéale pour les semi-conducteurs
Si vous travaillez dans une usine de semi-conducteurs, vous connaissez déjà les règles en vigueur. Les exigences concernant l’absence de plomb et les pratiques écologiques ne sont pas des suggestions : ce sont des obligations légales.
Mais voilà le problème : de nombreuses méthodes de chauffage traditionnelles, comme les lampes à rayons infrarouges classiques, produisent de l’ozone. En effet, ces lampes émettent des radiations dans la gamme de fréquences de 185 nm à 254 nm, ce qui transforme l’oxygène de l’air en un gaz corrosif.
C’est un vrai problème : l’ozone endommage vos composants sensibles et vous oblige à investir beaucoup d’argent dans des systèmes de purification de l’air pour maintenir un air respirable et préserver votre équipement.
Comment éliminer l’ozone ?
Nous avons trouvé un moyen d’y remédier sans perdre en efficacité thermique. Nous avons appliqué un revêtement de filtration spécial sur l’enveloppe en quartz de la lampe. On peut voir cela comme des lunettes de soleil haute technologie pour la lampe : elles bloquent les rayons UV, responsables de la production d’ozone, tout en permettant aux longueurs d’onde nécessaires au séchage de passer librement.
Vous obtenez donc toujours une chaleur intense, mais sans les problèmes liés aux gaz corrosifs. De plus, puisque vous n’avez plus affaire à des nuages de gaz toxiques, vous pouvez vous passer de ces systèmes complexes d’extraction de l’ozone. L’espace requis pour votre équipement diminue, ce qui est un avantage considérable.
Chaleur rapide, moins de stress
Le séchage par rayons infrarouges permet un transfert direct de chaleur. Au lieu de chauffer toute la chambre de cuisson et d’attendre que l’air se réchauffe (ce qui prend beaucoup de temps), ces lampes ciblent directement le substrat. Grâce à des filaments à haute densité, l’équilibre thermique est atteint en quelques secondes seulement. Cela est très avantageux, car cela permet de limiter les déformations du wafer et d’éviter toute diffusion accidentelle de substances dopantes. Il s’agit donc d’une méthode simple et efficace.
Quelques conseils techniques
Il y a bien sûr un compromis à prendre en compte. Ces lampes sans ozone génèrent beaucoup de chaleur. Comme cette chaleur est très localisée, il faut faire attention à ne pas trop les regrouper dans la chambre de cuisson. Si la lampe surchauffe, cela peut causer des problèmes. Assurez-vous donc que vos ventilateurs de refroidissement et les dissipateurs de chaleur soient suffisamment performants. Un flux d’air insuffisant peut provoquer des fissures dans le quartz, ce qui réduirait la durée de vie de la lampe. Il est donc important de vérifier attentivement les spécifications techniques de votre équipement.
En pratique
Que vous travailliez avec de la soudure sans plomb ou que vous souhaitiez sécher des photosensibilisants, ces lampes peuvent être utilisées à la place des anciennes lampes de chauffage. Elles vous aident à respecter les normes environnementales en réduisant la consommation d’énergie et en éliminant les émissions toxiques. De plus, vous pouvez les connecter directement à vos contrôleurs PID pour maintenir les températures désirées. Simple et efficace.