Sur le plan de fabrication, les profils de cuisson du photorésiste ne sont pas une simple question de préférence : ils déterminent en réalité si l’on obtient un résultat satisfaisant ou si tout doit être rejeté. Une déviation de 2 °C pendant la cuisson peut entraîner des problèmes tels que des dépôts sur la surface du wafer, ce qui peut entraîner l’échec de toute la production. Nous avons conçu nos lampes à infrarouges pour éliminer cette incertitude.
Ce qui est vraiment important d’un point de vue technique Ces lampes émettent de la lumière infrarouge, ce qui permet une réponse thermique rapide et contrôlée. Ainsi, on obtient une uniformité de température sur toute la surface du wafer, avec une précision de ±0,1 °C. Les émetteurs en graphène maintiennent une luminosité constante pendant des milliers d’heures ; certains appareils fonctionnent même plus de 5 000 heures sans qu’il y ait moins de 5 % de perte de performance.
Ces lampes sont conçues pour fonctionner dans des environnements propres, avec un niveau de contamination nul. Elles offrent également une régulation thermique fiable, ce qui permet de maintenir les conditions optimales pendant tout le processus. La puissance, la tension et les dimensions de ces lampes peuvent être ajustées pour s’adapter aux installations existantes, ce qui facilite leur intégration.
Pourquoi cela fonctionne bien en lithographie En lithographie, il est nécessaire d’avoir une cuisson douce qui permette l’élimination des solvants sans provoquer de réfusion du matériau, ainsi qu’une cuisson forte qui permette la solidification du matériau sans créer de défauts. Nos lampes atteignent rapidement la température souhaitée, maintiennent cette température de manière stable, et permettent un refroidissement prédicable. Ainsi, chaque wafer bénéficie des mêmes conditions thermiques.
Cela se traduit par une meilleure précision de placement des éléments sur le wafer, moins de reprises de travail, et des temps de cycle plus prévisibles. L’utilisation d’énergie est réduite, car le système se chauffe uniquement lorsque c’est nécessaire, et la température est maintenue avec un minimum d’excès. De plus, la longue durée de vie des émetteurs permet de réduire les besoins en pièces de rechange et les temps de maintenance.
Ce qu’il faut savoir au préalable Ces lampes sont conçues pour respecter les normes internationales relatives aux équipements de semi-conducteurs. Elles constituent donc une alternative fiable aux sources infrarouges traditionnelles à base de halogènes ou de quartz. L’installation de ces lampes nécessite de prendre en compte la géométrie du réflecteur et les distances optiques. Si l’on remplace les lampes sans vérifier la distance focale, on risque de déplacer la zone chaude.
Il est donc important de planifier l’installation en tenant compte de la géométrie de la chambre, du flux de refroidissement et des systèmes de sécurité. Cela permettra de maintenir un faible nombre de particules et d’augmenter le temps de fonctionnement de l’équipement.