در خط تولید، پروفیلهای حرارتی مربوط به فرآیند پختن رزیستورهای فوتوگرافی، چیزی اختیاری نیستند؛ بلکه تعیینکنندهی موفقیت یا شکست فرآیند تولید هستند. تغییر ۲ درجهای دما در طول فرآیند پختن، میتواند باعث تغییراتی در کیفیت ویفرها شود و در نهایت منجر به از بین رفتن کل محموله تولید شود. ما لامپهای مادون قرمز مخصوص پردازش گرافن را طوری طراحی کردهایم که این عدم قطعیتها را از بین ببرند.
آنچه از نظر فنی اهمیت دارد: این لامپها، نور مادون قرمزی تولید میکنند که برای پاسخگویی سریع و کنترلشدهی حرارتی مناسب است؛ بنابراین، یکنواختی دما در سطح ویفرها در محدوده±۰.۱ درجه حفظ میشود. منبع نور گرافن نیز، هزاران ساعت به طور پایدار کار میکند؛ در واقع، این لامپها بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار کردهاند و کاهش خروجی آنها کمتر از ۵٪ بوده است.
این لامپها از نظر ساختاری، سازگار با محیطهای تمیز هستند؛ همچنین، تولید هیچ ذرهای در آنها صورت نمیگیرد. همچنین، روند افزایش دما در این لامپها قابل پیشبینی است؛ بنابراین، فرآیند تولید به خوبی کنترل میشود. توان، ولتاژ و ابعاد این لامپها قابل تنظیم هستند؛ بنابراین، میتوان آنها را به راحتی در سیستمهای موجود جایگزین کرد.
چرا این روش در فرآیند لیتوگرافی مؤثر است: در فرآیند لیتوگرافی، نیاز به فرآیند پختن ملایمی وجود دارد که بتواند حلالها را از بین ببرد، بدون اینکه باعث ذوب شدن مواد شود؛ همچنین، نیاز به فرآیند پختن شدیدی نیز وجود دارد که بتواند مواد را کاملاً تثبیت کند. لامپهای ما، دمای مورد نظر را به سرعت رسانده، آن را حفظ کرده و سپس به طور قابل پیشبینی سرد میشوند؛ بنابراین، هر ویفر از یک شرایط حرارتی یکسان برخوردار میشود.
این امر منجر به دقت بالاتر در لیتوگرافی، کاهش تعداد کارهای تکراری و زمانبندی بهتر فرآیندهای تولید میشود. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا سیستم فقط زمانی گرم میشود که نیاز باشد، و دما نیز با حداقل اختلافی حفظ میشود. همچنین، عمر طولانی منبع نور، منجر به کاهش نیاز به قطعات یدکی و زمانهای تعمیرات میشود.
آنچه باید از قبل بدانید: این لامپها طوری طراحی شدهاند که با استانداردهای بینالمللی تجهیزات نیمههادی سازگار باشند؛ همچنین، آنها جایگزین مناسبی برای منابع مادون قرمز هالوژنی/کوارتزی هستند. برای نصب این لامپها، باید انطباق اندازههای بازتابندهها و مسیر نوری را در نظر گرفت؛ اگر لامپها را بدون بررسی فاصله کانونی تعویض کنید، منطقهی گرم شدن تغییر خواهد کرد.
برای نصب صحیح این لامپها، باید انطباق آنها با ساختار محفظه، جریان سرما و سیستمهای کنترلی را در نظر گرفت؛ این کار منجر به کاهش تعداد ذرات و افزایش زمان کارکرد سیستم میشود.