کاهش انتشار کربن در فرآیندهای تولید نیمهساخته: چرا لامپهای مادون قرمز ضدآب واقعاً مؤثر هستند
اگر سعی دارید کارخانه خود را به یک «کارخانه سبز» تبدیل کنید، احتمالاً متوجه شدهاید که در مراحل شستشو و خشککردن، مقدار زیادی انرژی هدر میرود. اکثر کارخانهها هنوز از فرهای بزرگ یا پمپهای هوای گرم برای خشککردن استفاده میکنند؛ این روش باعث هدررفت زیاد انرژی میشود.
ما روش بهتری پیدا کردهایم؛ به جای گرم کردن کل حجم هوای داخل محفظه، از لامپهای مادون قرمز ضدآب استفاده میکنیم. این لامپها انرژی خود را مستقیماً به رطوبت موجود روی سطح ویفر منتقل میکنند. این روش تمیزتر، سریعتر و کارآمدتر است.
مقابله با رطوبت
مراحل شستشو، محیطی بسیار مرطوب هستند؛ اگر لامپ معمولی را در آنجا قرار دهید، از کار خواهد افتاد.
به همین دلیل از سیستمهای درزبندی و محافظت ضدآب استفاده میکنیم؛ باید رطوبت را از تماس با اجزای الکتریکی دور نگه داریم. از لامپهای مادون قرمز کوتاهموج استفاده میکنیم؛ زیرا این لامپها گرما را تقریباً بلافاصله منتقل میکنند. ویفر در عرض چند ثانیه به دمای لازم میرسد.
اما باید مراقب توان لامپ باشید؛ اگر میخواهید تونل خشککردن کوچکتری داشته باشید، به توان بالاتری نیاز خواهید داشت. به یاد داشته باشید که قرار دادن توان بیشتر در فضای کوچک، باعث ایجاد گرمای زیادی در دستگاه میشود؛ اگر فنهای خنککننده را به درستی تنظیم نکنید، الکترونیکهای دستگاه آسیب خواهند دید.
انتخاب تجهیزات مناسب
لولههای کوارتز معمولی نمیتوانند در چنین محیطی کار کنند؛ به دلیل رطوبت و شوک حرارتی، این لولهها خیلی سریع خراب میشوند. ما از لولههای کوارتز با دیواره ضخیم یا لولههای پوششدار استفاده میکنیم تا دستگاه مقاومت بیشتری داشته باشد. همچنین، اتصالات را به خوبی درزبندی میکنیم تا از اکسیداسیون یا قطعهای ناگهانی جلوگیری شود.
همچنین، زمان زیادی را صرف تنظیم میزان تشعشع لامپ میکنیم؛ با تغییراتی در پوشش لامپ، میتوانیم مطمئن شویم که طول موج تشعشع با ویفر و مایع شستشو هماهنگ باشد. این کار باعث میشود انرژی واقعاً وارد آب شود، نه اینکه فقط دیوارههای دستگاه گرم شوند.
مزایای کاهش انتشار کربن
بهترین نکته این است که دیگر نیازی به زمان گرم شدن دستگاه نیست.
سیستمهای استفاده از هوای فشرده، مدت زمان زیادی برای رسیدن به دمای لازم نیاز دارند؛ همچنین، این سیستمها مدام در حال مصرف انرژی هستند. لامپهای مادون قرمز اما بلافاصله کار میکنند؛ فقط زمانی انرژی مصرف میکنند که ویفر در داخل آنها قرار داشته باشد. این تغییر ساده، مانع از هدررفت انرژی میشود.