حفظ ایمنی: استفاده از لامپ‌های مادون قرمز در تمیزکاری ویفرهای شیمیایی هنگام کار با ویفرها در فرآیندهای تمیزکاری شیمیایی، در واقع با حلال‌های متخلخل و...

در کف ویفر، انحراف حرارتی در حین پیش‌پخت فوتورزیست یا خشک‌کردن ویفر تنها یک مشکل سرعت خط نیست. این امر باعث ایجاد نقص‌هایی روی ویفر می‌شود—نقص‌هایی...