为什么镀金红外灯对您的生产流程如此重要？
让我们来谈谈等待的问题吧。如果您使用的是传统的强制空气对流方式，那您应该很清楚其中的弊端：首先需要加热空气，然后让空气去加热晶圆。这个过程非常缓慢，会浪费大量时间。在半导体加工中，这种“时间成本”会迅速累积起来。您基本上就是在等待腔体内的温度稳定下来。
而镀金红外灯则避免了这个问题。它们不会干扰空气流动，而是通过电磁辐射直接将能量传递到晶圆上。这种方式更直接、更快。
秘诀就在于那层黄金。
普通的石英灯会向周围释放广泛范围的热量。但当我们在石英表面涂上一层薄薄的黄金后，情况就变了。黄金就像一面镜子，能够将特定波长的热量精准地传递到所需的位置。这样一来，就不必浪费能量去加热腔体壁或机器框架了，能量可以集中在目标物体上。这样就能实现更精确的温度控制，从而避免不必要的能量浪费。
空气的传导效率实在很低。
空气是一种糟糕的导热介质。为了使其发挥作用，就需要巨大的风扇以及较长的预热时间，这样才能避免对材料造成损害。而红外灯则不同，它们可以立即开始工作。您可以在几秒内调整温度，而非几分钟。这不仅加快了每块晶圆的加工速度，还能减少加热装置的占用空间，从而节省等待时间。
不过，这里有个需要注意的地方。
当热量被如此集中地传递时，就必须格外小心。如果灯与晶圆之间的距离不合适，就可能会出现局部过热的情况。同时，也不能依赖反应迟缓的传感器。您需要使用能够快速响应的PID控制器。如果传感器反应滞后，温度就有可能超过设定值，从而导致晶圆损坏。
最后一条建议是：请为线路使用高级别的屏蔽措施。因为在温度升高的时候，电磁干扰可能会影响测量的精度。