Üretim alanında, TSV işlemleri sırasında termal bozulmalara yer kalmaz. Foto dirençlerin ısıtılması sırasında meydana gelen 2°C’lik değişiklikler, kritik boyutların kontrolünü bozar ve viyaların içinde boşluklar oluşmasına neden olur. TSV ısıtıcısı ise tüm işlem süreci boyunca wafernin sıcaklığını ±0,1°C içinde tutar.
Arka plandaki önemli faktörler
TSV ısıtıcısını, hızlı tepki veren halojen lambalar üzerine kurduk; bu lambalar kısa dalga boyundaki NIR ışığı kullanır, böylece foto dirençler ve silikon doğrudan bu ışığı emer. Sıcaklık ayarları birkaç saniye içinde gerçekleşir ve sıcaklık artış hızları 0,5°C/s olarak sabitlenir. Sistem, ≤0,1 parça/cm² değerinde partikül üreterek, Class 1–100 temiz odalarda çalışabilir. Sistem, 7/24 kesintisiz çalışabilir ve termal durum kontrol altında tutularak viyaların bütünlüğü ve koruyucu katmanlar zarar görmez.
Neden bu teknoloji gerçek TSV uygulamalarında kullanılır?
Düşük aralıklarla ve ince dielektrik malzemelerle TSV yapıları oluşturulurken, ısıtıcı sayesinde wafenin sıcaklık profili tutarlı kalır. Böylece her seferinde istenen sonuçlar elde edilir. Enerji tüketimi azalır çünkü lambalar hızla istenen sıcaklığa ulaşır ve minimum sapma ile orada kalır. Bu da işlem süresini kısaltırken kaliteden ödün verilmemesini sağlar.
Planlamanız gerekenler
Montaj için hassas optik hizalama ve ısıtma sırasında ortaya çıkan gazların atılması için özel bir havalandırma sistemi gereklidir. Isıtıcı standart chuck arayüzleriyle çalışır; ancak eski ekipmanlardaki alan kısıtlamaları nedeniyle özel bir adaptör gerekebilir. Wafenin sıcaklık profilini belirlemek ve ayarları kalibre etmek için kısa bir test yapılmalıdır. Bir kez bu ayarlar yapıldıktan sonra, işlem her vardiya boyunca tekrarlanabilir hale gelir.