AFM platformunun sıcaklığındaki değişiklikler, ölçüm gürültüsü olarak ortaya çıkar. Yarım derecelik bir sıcaklık değişimi bile kenarların yerleşimini bozar, fotorezist profillerini bozar ve kaliteli ürünlerin yeniden işlenmesine neden olur. Biz ise AFM ısıtıcısını, probu ve numuneyi belirlenen sıcaklıkta tutacak şekilde tasarladık; böylece sistem süreci takip etmek zorunda kalmaz.
Önemli olan şeyler
Hızlı ve stabil bir tepki verme kapasitesi ile yüksek düzeyde eşitlik önemlidir. Bu cihaz, kısa dalga boyundaki kızılötesi ışık kullanarak çalışır ve temiz bir iletim için kuvars pencereye sahiptir. Küçük bir alan içinde 150 W gücü sağlar. Kapalı döngülü bir yapıya sahiptir ve kalibre edilmiş sensörler sayesinde ölçüm alanı ±0,1°C aralığında tutulur. Cihaz, düşük gaz salınımı yapan malzemelerden yapılmıştır ve yüzeyi partikül oluşumunu engeller. Termal döngüler sonrasında da sıcaklık ±0,05°C aralığında kalır; böylece her parti için istikrarlı sonuçlar elde edilir.
Bu cihazın litografi ve fotorezist ölçümlerinde nasıl işlev gördüğü şudur: Isıtıcı, taramadan önce waferin sıcaklığını sabitler; böylece sıcaklık değişikliklerinden kaynaklanan sorunlar ortadan kalkar. Paketleme işlemlerinde ise, ince yapıları zarar vermeden alt tabakanın ve ara katmanların termal özelliklerini kontrol etmeye olanak tanır. Böylece daha az deneme gerekiyor, atık azalıyor ve termal senaryolar istikrarlı kalıyor. Enerji tüketimi de azalıyor; hızlı ısınma ve düşük bekleme gücü sayesinde oda gereksiz ısı üretmeden hazır durumda kalır.
Kurulum oldukça basittir; ancak termal bağlantı çok önemlidir. Platformun düz ve temiz bir yüzeyi olmalıdır; küçük bir hava boşluğu bile eşitliği bozacaktır. Isıtıcı, çoğu AFM platformuyla uyumludur; ancak eski kontrol cihazlarıyla entegrasyon için uygun konektörler ve kalibrasyon tabloları gerekebilir. Öncelikle platformun sıcaklığını oda sensörleriyle eşleştirmek için kısa bir test yapın, ardından profili sabitleyin.