На производственной площадке тепловые флуктуации в процессе обработки фотополимеров не являются просто академической проблемой. Они проявляются в изменении ширины линий на поверхности кристалла, проблемах с адгезией материала и снижении качества продукции. Необходим источник тепла, который будет работать в соответствии с требованиями процесса, а не против них. Наши лампы RTP именно так и функционируют.
Мы используем излучатели коротковолнового и средневолнового инфракрасного света, выполненные на основе кварца и галогенов. Это обеспечивает быструю и эффективную передачу энергии. Благодаря этому температура на поверхности кристалла остается одинаковой в пределах ±0,1°C по всей поверхности кристалла. Процесс обработки становится предсказуемым, что способствует контролю за размерами кристаллов. Процессы мягкой и жесткой обработки также становятся более предсказуемыми: удаление растворителей контролируется, напряжение в пленке остается стабильным, а размеры кристаллов соответствуют требуемым параметрам. Система используется в чистых помещениях класса 1–100, где не возникает никаких частиц. Ее работа обеспечивается благодаря контролю в реальном времени и использованию материалов с низким уровнем выделения газов.
Вот почему эта система эффективна в реальных условиях работы.
При сушке кристаллов лампа обеспечивает быстрое и безконтактное нагревание, что позволяет удалить влагу без повреждения поверхности кристалла. В процессе литографии лампа обеспечивает точный контроль температуры, что способствует устранению дефектов на краях кристалла. При отверждении пленки лампа обеспечивает стабильную скорость обработки, что позволяет обрабатывать больше кристаллов в час, не снижая при этом качества продукции.
Энергопотребление снижается, так как энергия направляется непосредственно на пленку и кристалл, а не на нагрев камеры. Надежность системы подтверждается тем, что она может работать более 5000 часов с перепадом качества продукции менее 5%. Это позволяет минимизировать простои.
Несколько практических замечаний:
При установке необходимо учитывать размеры лампы и ее разъема в соответствии с характеристиками оборудования RTP. Также необходимо контролировать правильность расположения оптического пути. Лампа работает наилучшим образом в чистой и сухой среде, а также при регулярной проверке излучателя.
Лампа не любит внезапные скачки напряжения. Необходимо защищать источник питания, чтобы избежать простоев.