Сокращение выбросов углерода на производстве: почему мы переходим на использование инфракрасных ламп
В наши дни все говорят о необходимости достижения углеродной нейтральности. Но для тех из нас, кто работает на производствах полупроводников, это сложная задача. Традиционные методы нагрева, которые мы использовали в течение многих лет, слишком ресурсоемки.
Поэтому мы перешли на использование систем с коротковолновыми инфракрасными лампами. Представьте себе: вместо того чтобы нагревать всю комнату лишь для того, чтобы разогреть чашку кофе, мы используем лазер. Мы не тратим энергию на нагрев всей камеры – энергия направляется прямо на пластину. Это более эффективно и быстро.
Чудо быстрой термической обработки
Мы создаем такие системы для передачи огромного количества тепла в кратчайшие сроки. Благодаря вольфрамовым нитьям, расположенным в хлорированном кварце, мы можем быстро повысить температуру. Нет необходимости ждать долгих процедур предварительного нагрева.
Вы знаете, что происходит при использовании старых печей? Энергия просто тратится впустую. С помощью инфракрасных ламп этого не происходит. К тому же мы можем контролировать, куда именно поступает тепло. Если нужно нагреть только одну часть пластины, то именно она будет нагреваться.
Детали и компромиссы
Но все не так просто. Это высокоэффективные устройства, и при их использовании возникает высокая плотность тепла. Нельзя просто настроить устройство и забыть о нем. Если система охлаждения не справляется с задачей, лампы могут быть повреждены за несколько часов. Это высокоэффективное устройство, поэтому требует тщательного обслуживания. Чтобы избежать поломок, мы используем усиленный кварц – так трубки не будут деформироваться под действием нагрузок. Кроме того, чтобы не тратить время на сложные ремонты, мы используем простые соединители. Их можно быстро заменить во время периода обслуживания.
Как это помогает созданию «зеленого завода»
В конце концов, речь идет о снижении энергопотребления. Благодаря отказу от старого оборудования нам не нужно столько энергии для достижения рабочей температуры. А после выполнения работы пластины охлаждаются гораздо быстрее. Для инженеров это означает меньшую нагрузку на сеть и более короткие времена обработки. Это способ пройти проверки на соответствие стандартам «зеленого завода» без необходимости снижения производительности.