Почему использование метода зажигания с использованием инфракрасного излучения без образования озона имеет смысл именно для производства полупроводниковых компонентов
Если вы работаете на заводах по производству полупроводников, вы уже знакомы с правилами. Требования к использованию безоловянных и экологичных материалов — это не просто рекомендации; это законы.
Но есть одна проблема: многие старые способы нагрева, такие как стандартные инфракрасные лампы, создают озон. Поскольку они излучают свет в диапазоне от 185 до 254 нм, они превращают кислород в воздухе в коррозийный газ.
Это серьезная проблема. Озон разрушает чувствительные компоненты, а также требует значительных затрат на устройства для очистки воздуха, чтобы сохранить его пригодность для дыхания и целостность оборудования.
Как мы устраняем озон
Мы нашли способ предотвратить образование озона, не теряя при этом эффективности нагрева. Мы нанесли на корпус лампы специальное фильтрующее покрытие. Это похоже на технологичные солнцезащитные очки для лампы — они блокируют ультрафиолетовое излучение, которое вызывает образование озона, но позволяют проходить излучению, необходимому для зажигания. Вы все еще получаете высокую температуру, но без проблем, связанных с химическим воздействием. Кроме того, поскольку нет коррозийного газа, можно обойтись без объемных систем для его удаления. Это значит, что размеры оборудования сокращаются, а пространство освобождается. Это идеальное решение.
Быстрый нагрев, меньше стресса
Метод зажигания с использованием инфракрасного излучения позволяет достигать высоких температур быстро. Вместо того чтобы нагревать всю камеру и ждать, пока воздух нагреется (что занимает много времени), эти лампы направляют тепло непосредственно на поверхность подложки. Мы используем филаменты высокой плотности, поэтому нагрев происходит почти мгновенно. Вы можете достичь нужной температуры за считанные секунды. Это очень важно, потому что это позволяет сохранять низкий уровень тепла на пластине. Нет деформации, нет случайной диффузии допингующих веществ. Просто чистое и быстрое нагревание.
Некоторые технические нюансы
Есть один недостаток: эти лампы выдают очень высокую температуру. Если расположить лампы слишком близко друг к другу, это может привести к проблемам. Если лампа перегреется, это будет причиной проблем. Убедитесь, что вентиляторы и радиаторы способны справиться с задачей. Если поток воздуха слаб, кварц может треснуть, а срок службы лампы сократится. Стоит дважды проверить параметры оборудования.
Применение в практике
Независимо от того, нужно ли вам использовать безоловянный поверхностный контакт или обрабатывать фотополимерные пленки, эти лампы можно использовать вместо старых нагревателей. Они помогают соблюдать экологические стандарты, сокращая расход электроэнергии и устраняя токсичные выбросы. Кроме того, их можно подключить к существующим контроллерам PID, чтобы точно контролировать температуру. Просто.