Stop met het verspillen van warmte in uw productiehal
De meeste verwarmingselementen werken net zoals gloeilampen: ze sturen energie in alle richtingen. In een halfgeleiderfabriek is dit een probleem. Als u probeert een wafer op te warmen, maar juist de binnenkant van de apparatuur wordt opgewarmd, verspilt u alleen maar energie. Erger nog: uw apparatuur wordt dan een soort reusachtige radiator, waardoor de operators in gevaar kunnen komen.
We lossen dit op door gebruik te maken van gerichte infrarode technologie.
Hoe het werkt
Standaardlampen sturen warmte overal naartoe. Wij gebruiken een combinatie van reflectoren en selectieve emissie-elementen om de infrarode energie rechtstreeks op het substraat te richten. Hierdoor neemt het behuizing van de apparatuur minder straling op. Het resultaat? De buitenkant van de apparatuur blijft koel aanraken, zelfs wanneer het erin razend heet is.
Het thermische profiel goed regelen
U kunt niet zomaar een lamp met hoge vermogenskracht in de apparatuur stoppen en hopen op het beste resultaat. Als de uitstoot van de lamp niet overeenkomt met wat het materiaal kan absorberen, wordt de energie gewoon afgeketst op de wafer en tegen de wanden van de apparatuur geslingerd. Daarom kiezen we lampen met specifieke golflengten. Op deze manier zorgt het voorzien van de juiste lampen ervoor dat de wafer de warmte daadwerkelijk kan opnemen.
Bovendien zal uw HVAC-systeem u dankbaar zijn. U hoeft dan geen strijd meer te voeren tegen de warmte die uit uw apparaten lekt.
De nadelen (en hoe daarmee om te gaan)
Gerichte verwarming is geen magische oplossing. Wanneer u de energiestraal concentreert, ontstaat er veel warmte op één plek. Als de positie van de lamp zelfs maar een paar millimeter verkeerd is, zullen er hete punten op de wafer ontstaan. Dat betekent dat de montage van de lampen nauwkeurig moet zijn. Er is geen ruimte voor fouten.
Als u niet zeker weet waar u staat, kunt u een thermische camera gebruiken om de temperatuur van de wanden te controleren. Als de oppervlakstemperatuur 45°C of meer bereikt, lekt er energie. Door over te stappen op gerichte infrarode technologie, blijven de processotentperaturen precies waar ze moeten zijn, zonder dat er risico’s zijn voor de operators.