제조 공정에서 열이 낭비되는 것을 막으세요.
대부분의 가열 요소들은 마치 전구와 같아서 에너지를 사방으로 방출합니다. 반도체 제조 공장에서는 이것이 문제가 됩니다. 웨이퍼를 가열하려고 하지만 오히려 장비 내부가 가열되어 에너지가 낭비됩니다. 더욱 심각한 것은, 장비가 거대한 라디에이터처럼 작동하여 작업자들에게 해를 끼칠 수 있다는 점입니다.
이 문제를 해결하기 위해 우리는 방향성 적외선 기술을 사용합니다.
작동 원리
일반적인 램프는 열을 사방으로 방출합니다. 하지만 우리는 반사판과 선택적 방출 장치를 활용하여 그 적외선 에너지를 웨이퍼 쪽으로 집중시킵니다.
빔을 좁힘으로써, 장비의 외부는 과도한 열을 흡수하지 않습니다. 그 결과, 내부가 매우 뜨거워도 장비의 외부는 시원한 상태를 유지할 수 있습니다.
적절한 온도 조절
단순히 고출력 램프를 장비에 설치한다고 해서 문제가 해결되는 것은 아닙니다. 램프의 출력이 웨이퍼가 실제로 흡수할 수 있는 양과 일치하지 않으면, 에너지는 웨이퍼를 지나쳐 장비의 벽에 부딪힙니다. 그래서 우리는 특정 파장의 램프를 사용합니다. 이렇게 하면 웨이퍼가 열을 효과적으로 흡수할 수 있습니다.
또한, HVAC 시스템도 혜택을 볼 것입니다. 더 이상 장비에서 계속해서 열이 빠져나가는 문제에 대응할 필요가 없습니다.
단점 및 대응 방법
방향성 가열도 마법은 아닙니다. 빔을 집중시키면 특정 지점에 열이 집중됩니다. 위치가 조금이라도 틀어지면 웨이퍼에 과열된 부분이 생깁니다. 따라서 램프의 위치는 정확해야 합니다.
어떤 위치인지 확실하지 않다면 열화상 카메라를 사용하여 장비의 온도를 확인해 보세요. 만약 장비의 표면 온도가 45°C 이상이라면, 에너지가 누설되고 있다는 뜻입니다. 방향성 적외선 기술을 사용하면 과정 중에 발생하는 온도를 정확하게 조절할 수 있으며, 작업자가 화상을 입을 위험도 줄어듭니다.