फैब फ्लोर पर, फोटोरेसिस्ट बेक में मामूली सी भी गड़बड़ी उत्पादन दर को लाइन पर दिखने से पहले ही प्रभावित कर सकती है। पावर डिवाइस वेफर्स के मामले में,...

लाइन पर, वह 300mm वेफर अपने सॉफ्ट बेक के लिए इंतजार कर रहा है—यह वह चरण है जो फोटोरेसिस्ट प्रोफ़ाइल को लॉक करता है। केवल 2°C का अंतर ही महत्वपूर्ण...