फैब्रिकेशन फ्लोर पर, 150 मिमी आकार के SiC वेफर, लिथोग्राफी सेल में रखे जाते हैं; ये वेफर फोटोरेजिस्ट बेकिंग के लिए तैयार होते हैं। केवल कुछ डिग्री का...

फैब फ्लोर पर, फोटोरेजिस्ट को सुखाने संबंधी प्रक्रियाएँ कोई वैकल्पिक विकल्प नहीं हैं – ये ही उत्पादन की गुणवत्ता एवं अपव्यय के बीच का अंतर हैं। सॉफ्ट...

लाइन पर, वह 300mm वेफर अपने सॉफ्ट बेक के लिए इंतजार कर रहा है—यह वह चरण है जो फोटोरेसिस्ट प्रोफ़ाइल को लॉक करता है। केवल 2°C का अंतर ही महत्वपूर्ण...