स्वच्छ कक्ष संबंधी उपकरणों में सुधार/अपग्रेड।
अपने उपकरणों में होने वाली “हॉट वॉल” समस्या को रोकें।
अधिकांश सामान्य हीटिंग तत्व थोड़े अस्थिर होते हैं; वे ऊष्मा को हर दिशा में फैला देते हैं – 360...
पावर डिवाइस वेफर हीटिंग लैम्प
फैब फ्लोर पर, फोटोरेसिस्ट बेक में मामूली सी भी गड़बड़ी उत्पादन दर को लाइन पर दिखने से पहले ही प्रभावित कर सकती है। पावर डिवाइस वेफर्स के मामले में,...