फैब फ्लोर पर, हर छोटी सी बात महत्वपूर्ण होती है। फोटोरेजिस्ट को गर्म करने की प्रक्रिया में 0.5°C का भी अंतर, लाइन-विड्थ में नैनोमीटरों का अंतर पैदा...

फैब फ्लोर पर, फोटोरेसिस्ट बेक में मामूली सी भी गड़बड़ी उत्पादन दर को लाइन पर दिखने से पहले ही प्रभावित कर सकती है। पावर डिवाइस वेफर्स के मामले में,...