שקע מנורה אינפרא אדום לכלי וייפר
ברצפת ה-wafer, שינויים תרמיים במהלך מראש בציפוי הפוטורזיסט או ייבוש ה-wafer אינם רק פגיעה בקצב הקו. הם יוצרים ליקויים על ה-wafer—ליקויים שלא ניתן...
מנורת חימום למתקן שבבים של התקן כוח
על רצפת המפעל, אפיית פוטורזיסט שסטייה קלה בה עלולה לפגוע בתפוקה עוד לפני שתזהו זאת בקו הייצור. בווייפרים של מכשירים חשמליים, התקציב התרמי צפוף—המנורה...