החלפת נורת ה Stepper של Nikon

בתהליך הליתוגרפיה, למנורת ה-Nikon שאחראית על תהליך החשיפה, יש השפעה על רמת האור שנפלטת. אי-יציבות ברמת האור גורמת לשינויים ברמת החשיפה, וכתוצאה מכך...