Obtenir plus de chaleur là où c’est vraiment nécessaire : le séchage des wafer
Si vous gérez une ligne de séchage de wafer, vous connaissez les difficultés. Il est nécessaire d’obtenir un profil de température parfait sur toute la surface du substrat, mais on ne veut pas gaspiller trop d’énergie à cette fin.
Le problème, c’est que les lampes infrarouges diffusent de la chaleur dans toutes les directions. Sans réflecteur adéquat, on chauffe en réalité le châssis de la machine plutôt que le produit lui-même. On gaspille donc la moitié de l’énergie avant même que celle-ci n’atteigne le wafer.
Pourquoi nous choisissons l’or
Certains utilisent de l’aluminium parce qu’il est moins cher. Mais l’aluminium absorbe beaucoup trop d’énergie et finit par ne plus fonctionner lorsque les températures deviennent élevées. Nous utilisons donc des revêtements en or de haute pureté. Pourquoi ? Parce que l’or est un excellent réflecteur pour la lumière infrarouge. Il renvoie presque toute l’énergie vers le wafer. Ainsi, vous obtenez plus de chaleur pour chaque watt consommé. De plus, le faisceau lumineux est concentré, ce qui permet à la chaleur de se répartir uniformément. Pas de points chauds, pas de wafer déformés. Un séchage propre et efficace.
Des formes intelligentes, une durée de vie prolongée
Il ne s’agit pas seulement du matériau, mais aussi de sa forme. Nous donnons à ces réflecteurs une forme incurvée afin de concentrer les rayons lumineux dans une zone bien précise. Lorsque la densité de chaleur augmente, quelque chose de fantastique se produit : vous pouvez diminuer l’intensité des lampes. Vous obtenez toujours la même vitesse de séchage, mais les lampes ne travaillent plus aussi dur. Cela réduit considérablement la pression exercée sur les filaments, ce qui signifie que vous n’avez pas besoin de remplacer les tubes usagés aussi souvent.
Les compromis nécessaires
L’or n’est pas bon marché. C’est un investissement important par rapport à l’acier poli ou à l’aluminium. De plus, il faut bien les entretenir. Si de la poussière ou des résidus chimiques s’accumulent sur la surface en or, cela crée des points chauds où l’énergie est absorbée au lieu d’être réfléchie. C’est ce qui provoque l’usure prématurée du revêtement. Il faut donc les maintenir propres. Respectez un calendrier de nettoyage strict, et ils continueront à fonctionner correctement.
Une dernière chose à garder à l’esprit : comme vous concentrez tant de chaleur sur le wafer, la chambre de séchage peut devenir un peu plus chaude que d’habitude. Assurez-vous que votre système de refroidissement puisse gérer cette charge supplémentaire.