Arrêtez de gaspiller votre énergie : pourquoi les réflecteurs revêtus d’or sont vraiment utiles
Si vous chauffez des wafers en silicium et que les lampes ne reflètent pas la chaleur, c’est comme si vous jetiez de l’argent par les fenêtres.
Imaginez : un tube en quartz standard émet de la chaleur dans toutes les directions. Dans un système typique, la moitié de cette énergie disparaît simplement dans le châssis de la machine. C’est du gâchis. C’est pour cela que nous utilisons des réflecteurs revêtus d’or. Au lieu de laisser ces photons s’éparpiller, nous les renvoyons directement vers le substrat.
Pourquoi l’or ?
Cela vient du fait que l’or est extrêmement efficace pour renvoyer les ondes infrarouges. Nous appliquons donc une fine couche d’or à l’arrière du quartz. L’aluminium est une alternative, mais il a tendance à s’oxyder avec le temps et à perdre ses propriétés. L’or, lui, reste stable, même lorsqu’il fait très chaud. Vous obtenez ainsi plus de chaleur sur le wafer, sans avoir besoin d’augmenter la puissance de la lampe. C’est donc une façon plus intelligente d’utiliser l’énergie.
Les limites (et comment les surmonter)
Le problème, c’est que lorsque l’énergie est concentrée à ce point, le wafer atteint sa température cible beaucoup plus rapidement. Mais il y a un compromis à faire : tout cet énergie concentrée exerce une grande pression sur le filament interne de la lampe. Si vous voulez maximiser l’intensité, il faut s’assurer que le système de refroidissement – qu’il s’agisse de ventilateurs ou de doublures en eau – fonctionne correctement. Sinon, les électrodes de la lampe vont se brûler bien avant terme.
Comment ça marche dans la réalité
Nous concevons ces ampoules pour qu’elles puissent être utilisées dans des espaces restreints, où chaque millimètre compte. L’objectif est simple : obtenir une distribution homogène de la chaleur sur tout le wafer. Aucun “point froid”. En recyclant la chaleur qui serait normalement perdue, on obtient un meilleur contrôle du processus. De plus, les factures d’électricité diminuent. C’est donc un moyen simple d’obtenir plus de résultats avec chaque watt consommé.