در فرآیند لیتوگرافی، FOUP همچنان حاوی لایه نازکی از آب است؛ این لایه در نتیجه شستشوی قبلی باقی مانده است. اگر فرآیند گرم کردن به درستی انجام نشود، پروفایل فوتورزیست تغییر کرده و کنترل ابعاد مهم محصول، حتی قبل از شروع فرآیند عکسبرداری، دشوار خواهد شد. بنابراین، نیاز به یک دستگاه خشککن FOUP وجود دارد که بتواند رطوبت را از بین ببرد و دما را به طور قابل پیشبینی کنترل کند؛ بدون نیاز به حدس و گمان.
چه چیزهایی مهم هستند؟ ما از امواج متوسط مادون قرمز برای گرم کردن سریع و مستقیم استفاده میکنیم؛ این روش باعث میشود ذرات در هوا پراکنده نشوند. در سطح کلی، یکنواختی دما در سطح ویفرها در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی میماند؛ بنابراین هر ویفر، همان میزان گرما را در فرآیندهای گرم کردن دریافت میکند. سازگاری با استانداردهای اتاقهای تمیز کلاس ۱ تا ۱۰۰، از طریق مسیرهای هوای بسته و موادی که گاز کمی تولید میکنند، حاصل میشود؛ این امر باعث کاهش تعداد ذرات در هوا میشود. هیترها نیز برای کار ۲۴ ساعته طراحی شدهاند؛ ما نیز میزان قابلیت اطمینان دستگاه را، مانند همیشه، از طریق زمان کارکرد و فواصل تعمیرات، ارزیابی میکنیم، نه از طریق تبلیغات.
چرا این روش در FOUP مؤثر است؟ در فرآیند FOUP، دستگاه خشککن باعث تثبیت دما میشود؛ این امر باعث کاهش تغییرات در ضخامت فوتورزیست و عرض خطوط میشود؛ در نتیجه، بازدهی بالاتری به دست میآید و مقدار زباله کمتر میشود. اتصال مستقیم امواج مادون قرمز و شیب دمایی کم، باعث کاهش مصرف انرژی میشود؛ همچنین، فرآیند در برابر تغییرات رطوبت محیطی مقاومت بیشتری دارد. در نتیجه، عملکرد قابل پیشبینیای خواهد داشت: پروفایلهای گرمایی یکنواخت، کمترین تعداد بازسازی، و بازدهی ثابت.
چه چیزهایی را باید در نظر بگیرید؟ امواج متوسط مادون قرمز سریع گرم میکنند، اما نیاز به کنترل دقیق فاصله و زمان گرم کردن وجود دارد تا از ایجاد نقاط گرم بر روی بدنه FOUP جلوگیری شود. هنگام نصب، باید رابط دستگاه را تنظیم کرد و اطمینان حاصل کرد که FOUP بتواند بار حرارتی را بدون تغییر شکل دریافت کند. سپس، باید یک آزمایش کوتاه انجام داد تا مطمئن شد که دما در سطح ویفرها و فوتورزیست، مطابق با استانداردهای مورد نظر است.