حفظ سرمای تجهیزات نیمههادی (در حالی که داخل آنها گرم میشود)
یکی از مشکلات رایج در تجهیزات نیمههادی این است که باید داخل این تجهیزات گرم باشد، اما نمیخواهیم سطح خارجی آنها به اندازه یک اجاق گرم شود.
وقتی از روشهای گرمایشی معمولی استفاده میکنیم، گرما به سمت دیوارههای بیرونی سرایت کرده و باعث میشود افرادی که از دستگاه استفاده میکنند، در معرض خطر سوختگی قرار بگیرند. علاوه بر این، انرژی زیادی نیز صرف گرم کردن بخشهای فلزی است که نیازی به گرم شدن ندارند.
راهحل این است که از گرمایش هدفمند استفاده کنیم.
ما از لامپهای مادون قرمز با طول موج کوتاه برای حل این مشکل استفاده میکنیم. میتوان آنها را مانند چراغهای قوی در نظر گرفت؛ تابش مادون قرمز در یک خط مستقیم حرکت میکند، بنابراین فقط آن بخشهایی را گرم میکند که مورد تأثیر آن قرار میگیرند. با تنظیم زاویه لامپها و استفاده از منعکسکنندهها، میتوانیم گرما را دقیقاً به سمت ویفر یا قطعات مربوطه هدایت کنیم. بقیه بخشهای دستگاه در معرض گرما قرار نخواهند گرفت.
اما نمیتوانیم فقط یک لامپ را در آنجا قرار دهیم و کار تمام شده بدانیم. باید طول موج و نقطه تمرکز گرما را به درستی تنظیم کنیم. ما از لامپهای مادون قرمز با طول موج کوتاه استفاده میکنیم؛ زیرا این لامپها میتوانند بهتر از لامپهای معمولی، گرما را منتقل کنند. هدف این است که یک منطقه گرمایی متمرکز ایجاد شود.
اگر زاویه منعکسکنندهها کمی اشتباه باشد یا لامپ برای فضای مورد نظر بزرگ باشد، همچنان گرما به سمت بخشهای دیگر دستگاه سرایت خواهد کرد. این موضوع مشکلساز است. به همین دلیل، همیشه توصیه میشود که قبل از تعیین محل قرارگیری لامپها، فضای داخلی دستگاه را به خوبی بررسی کنیم.
فواید این روش واقعاً ارزشمند است.
اولاً، اپراتورها دیگر نخواهند دچار سوختگی دست در اثر گرمای بیش از حد فلزات دستگاه شوند. علاوه بر این، سیستم تهویه هوای اتاقهای پاک نیز از این روش سپاسگزار خواهد بود؛ زیرا گرمای اضافی در اتاق تولید نمیشود و این امر باعث پایدارتر ماندن محیط میشود.
البته، چند معایب نیز وجود دارد. لامپهای مادون قرمز برای همیشه کار نخواهند کرد؛ آنها سریعتر از لامپهای معمولی خراب میشوند. بنابراین باید برنامهای برای تعویض آنها داشته باشیم. همچنین، به دلیل شدت بالای تابش مادون قرمز، باید از محافظتهای لازم استفاده کرد؛ قطعاً نمیخواهیم که کسی در حین بررسی لامپها، مستقیماً به آنها نگاه کند.