Hören Sie auf, Wärme in Ihrer Fertigungsanlage zu verschwenden!
Die meisten Heizelemente funktionieren wie Glühbirnen – sie geben Energie in alle Richtungen ab. In einer Halbleiterfertigungsanlage ist das ein Problem. Wenn man versucht, eine Wafer zu erhitzen, erhitzt man stattdessen den Inneren der Anlage. Dadurch wird Energie verschwendet. Schlimmer noch: Die Anlage fungiert dann als riesiger Radiator, der die Arbeiter sogar verletzen kann.
Wir lösen dieses Problem mithilfe von gerichteter Infrarot-Technologie.
Wie es funktioniert
Herkömmliche Lampen geben die Wärme überallhin ab. Wir nutzen eine Kombination aus Reflektoren und selektiven Emittoren, um die Infrarotenergie gezielt auf das Substrat zu richten. Dadurch wird verhindert, dass die Außenhülle der Anlage die Wärme aufnimmt. Das Ergebnis: Die Außenhülle bleibt kühl, selbst wenn im Inneren hohe Temperaturen herrschen.
Das richtige thermische Profil erreichen
Man kann einfach keine Hochleistungs-lampe in die Anlage einbauen und darauf hoffen, dass alles klappt. Wenn die Leistung der Lampe nicht mit der Kapazität des Materials übereinstimmt, prallt die Energie nur von der Wafer ab und trifft auf die Wände der Anlage. Deshalb wählen wir Lampen mit bestimmten Wellenlängen aus. So wird sichergestellt, dass die Wafer tatsächlich die Wärme aufnimmt.
Außerdem wird Ihr HVAC-System damit entlastet. Sie müssen nicht mehr gegen die ständige Wärmeerzeugung in Ihren Anlagen kämpfen.
Die Herausforderungen – und wie man damit umgeht
Gerichtete Beheizung ist kein Zaubertrick. Wenn man einen Strahl bündelt, entsteht an einem bestimmten Punkt eine hohe Wärmedichte. Wenn die Positionierung auch nur um wenige Millimeter falsch ist, entstehen heiße Stellen auf der Wafer. Das bedeutet, dass die Befestigung der Lampen genau stimmen muss – es darf keine Spielräume geben.
Falls Sie unsicher sind, verwenden Sie eine Wärmebildkamera, um die Temperatur der Wände zu überprüfen. Wenn die Oberfläche der Anlage 45°C oder höher erreicht, geht Energie verloren. Durch den Einsatz gerichteter Infrarot-Technologie bleiben die Prozesstemperaturen genau dort, wo sie sein sollen – ohne das Risiko, dass jemand verbrannt wird.