V továrně na výrobu čipů záleží na každém detailu – na jeho správnosti závisí úspěch celého procesu. Odchylka o 0,5 °C během zahřívání fotorezistentu...

V případě AFM je teplotní odchylka plošiny projevována jako šum měření – jednoduše řečeno. Poloviční stupeň odchylky stačí k tomu, aby došlo ke...

Na výrobní lince může i mírná odchylka v vypalování fotoresistu výrazně ovlivnit výtěžnost dříve, než si toho na lince všimnete. U waferů pro...