V případě AFM je teplotní odchylka plošiny projevována jako šum měření – jednoduše řečeno. Poloviční stupeň odchylky stačí k tomu, aby došlo ke zkreslení polohy okrajů, k narušení profilů fotorezistů a k tomu, že kvalitní výrobky budou muset být znovu zpracovány. Vytvořili jsme topič pro AFM, který udržuje sonda a vzorek na stanovené teplotě, aniž by systém musel neustále vyrovnávat odchylky.
Co je důležité uvnitř
Soustředili jsme se na rychlou a stabilní reakci a na vysokou rovnoměrnost. Topič pracuje s krátkovlnným infračerveným zářením, spolu s kvartovým oknem pro čistou transmisi signálu. Dodává 150 W energie ve kompaktním provedení. Jedná se o uzavřenou smyčku, kde kalibrovaný senzor udržuje teplotu v rozmezí ±0,1 °C. Tělo topiče je kompatibilní s prostředím třídy 1–100, používají se materiály s nízkou emisí plynů a povrch, který nevyvolává vznik částic. Opakovatelnost je taková, že teplota zůstává v rozmezí ±0,05 °C i po tepelných cyklech – takže výsledky měření zůstávají konzistentní mezi jednotlivými sériemi výrobků.
Důvodem tohoto chování v litografii a metrologii fotorezistů je skutečnost, že topič stabilizuje desku před skenováním, takže nemusíte řešit odchylky v šířce pruhů způsobené teplotními vlivy. Při balení umožňuje kontrolovanou tepelnou charakterizaci podkladů a mezilehlých vrstev, bez nadměrného zahřátí, které by mohlo poškodit tenké struktury. Výsledkem je méně opakování procesů, méně odpadu a stabilní tepelné podmínky. Energetická spotřeba také klesá – rychlé stabilizování a nízká spotřeba v režimu čekání zajistí, že komora zůstane připravena bez zbytečného zahřívání.
Instalace je jednoduchá, ale klíčový je správný tepelný spoj. Plošina potřebuje rovný a čistý povrch – i malá mezera vzduchu může narušit rovnoměrnost. Topič funguje s většinou platform AFM, avšak integrace s staršími kontroléry může vyžadovat vhodné konektory a tabulku kalibrace. Proveďte krátký testovací proces, abyste zjistili vztah mezi teplotou plošiny a senzory komory, a poté uzamkněte profil teploty.