Hãy ngăn chặn tình trạng “tường nóng” gây ra các vấn đề cho thiết bị sản xuất của bạn.
Hầu hết các bộ phận gia nhiệt tiêu chuẩn đều hoạt động một cách lộn xộn; chúng phát ra nhiệt ở mọi hướng – tức là 360 độ. Điều này thật kinh khủng trong các nhà máy sản xuất linh kiện bán dẫn. Khi nhiệt được phân bố khắp nơi, các bức tường bên trong thiết bị sẽ hấp thụ toàn bộ nhiệt đó. Điều này dẫn đến tình trạng “tường nóng”, và điều này gây ra hai vấn đề: một là lãng phí năng lượng, hai là tạo ra nguy cơ an toàn cho những người đứng gần thiết bị.
Đây là cách chúng tôi khắc phục vấn đề này.
Chúng tôi sử dụng đèn hồng ngoại sóng ngắn, nhưng có một điểm khác biệt: chúng tôi thêm lớp phản chiếu vào đèn. Thay vì để nhiệt lan tỏa ra xung quanh, chúng tôi khiến nhiệt được phản chiếu về phía trước. Điều này giống như việc sử dụng đèn pin thay vì bóng đèn thông thường. Toàn bộ năng lượng nhiệt sẽ được chuyển hướng đúng vào vị trí cần thiết – tức là lên bề mặt wafer hoặc vật liệu được xử lý.
Vỏ thiết bị không còn đóng vai trò như một “khăn thấm nhiệt” nữa, và mọi thứ hoạt động hiệu quả hơn.
Chi tiết về phần cứng
Để giải quyết vấn đề này, chúng ta cần chú ý đến công suất của đèn và hình dạng của bộ phản chiếu. Chúng tôi sử dụng đèn có mật độ cao, vì quy trình sản xuất yêu cầu tốc độ xử lý nhanh. Để tránh tình trạng thiết bị bị biến dạng dưới áp lực cao, chúng tôi sử dụng vỏ bằng thạch anh. Nhưng bạn cũng cần chú ý đến dòng nhiệt. Nếu bạn sử dụng quá nhiều công suất trong một không gian nhỏ, nhiệt độ sẽ vượt quá mức cho phép. Ngoài ra, bộ điều khiển PID cũng cần được điều chỉnh phù hợp với tốc độ phát nhiệt của đèn hồng ngoại. Nếu không, nhiệt độ sẽ dao động liên tục.
Đảm bảo an toàn và thuận tiện
Điều tuyệt vời nhất là bề mặt bên ngoài của thiết bị vẫn giữ được nhiệt độ ổn định. Các nhân viên có thể thực hiện công việc mà không lo bị bỏng do nhiệt từ bức tường thiết bị.
Nếu bạn muốn nâng cấp thiết bị, những chiếc đèn này có thể thay thế ngay cho những bộ phận gia nhiệt cũ. Chỉ cần đảm bảo rằng hệ thống dây điện có thể chịu được dòng điện cần thiết.
Và một mẹo cuối cùng: hãy kiểm tra độ vuông góc của bộ phản chiếu sau khi lắp đặt xong. Ngay cả một góc nghiêng nhỏ cũng có thể làm thay đổi vùng phát nhiệt, và điều này sẽ dẫn đến việc xử lý bề mặt wafer không đồng đều. Những điều nhỏ nhặt như vậy cũng có thể gây ra những hậu quả lớn.