Doğru mesafenin belirlenmesi: Waferler için kızılötesi ısıtma
Eğer akıllı bir üretim tesisi kuruyorsanız, eski usul termal ısıtma yöntemlerinin artık yeterli olmadığını muhtemelen zaten anlamışsınızdır. Bu yöntemler çok yavaştır. İşte bu yüzden yüksek yoğunluklu kızılötesi sistemlerden yararlanıyoruz; bu sistemler sayesinde sıcaklıkları hızlı bir şekilde artırıp azaltabiliriz. Bu da dijital üretim hatlarının sürekli çalışması için gereklidir.
Ancak bir sorun var…
Kızılötesi vericinin wafer yüzeyiyle olan mesafesi çok önemlidir. Eğer bu mesafe yanlış belirlenirse, ürünler bozulur.
Hava boşluğu sorunu
Sadece bir lamba yerleştirip en iyisini ummak yeterli değildir. Burada dengeyi bulmak gerekiyor. Eğer vericiyi çok yakına yerleştirirseniz, filamentin hemen altında aşırı ısınma meydana gelir. Wafer, lokal aşırı ısınmadan dolayı bükülür. Ama eğer vericiyi çok uzakta yerleştirirseniz, enerji boşa harcanmış olur ve üretim süreleri uzar.
Her şey bakış açısına bağlıdır. Düşük mesafe yoğunluğu sağlar, ancak ısının eşit dağıldığı alanı daraltır. 300 mm’lik bir wafer üzerinde düzgün bir ısı dağılımı elde etmek için, birden fazla lambanın yaydığı ışınların birbirleriyle örtüşeceği şekilde mesafeyi ayarlamak gerekir. Yani doğru noktayı bulmak önemlidir.
Daha akıllı veriler, daha az tahmin
Modern üretim tesislerinde artık tahminlerle hareket etmiyoruz. Kızılötesi vericileri kapalı döngülü PID kontrol cihazlarına bağlıyoruz ve gerçek zamanlı ölçüm teknolojisinden yararlanıyoruz. Sistem, waferin gerçek yüzey sıcaklığını izleyerek gücü dinamik olarak ayarlar. Böylece sabit mesafe ayarlarının mükemmel olduğunu ummak zorunda kalmazsınız.
Ancak dikkat edilmesi gereken bir nokta var: Yüksek güçlü kızılötesi sistemler, araç çerçevesine büyük miktarda ısı yayar. Eğer süreci birkaç saniye kısaltmak için her şeyi sıkıca yerleştirmeye çalışırsanız, soğutucunuzun bu yükü kaldırabileceğinden emin olmalısınız. Eğer çevre sıcaklığı artarsa, sensörleriniz hatalı ölçümler yapar ve kalibrasyonlar bozulur; böylece başlangıç noktasına geri dönmüş olursunuz.