Waarom vacuüm-IR-verwarmers alleen maar logisch zijn voor moderne halfgeleiderfabrieken
De wereld van halfgeleiders streeft hard naar doelstellingen als ‘loos van lood’ en ‘nul emissies’. Lang hebben we ons verlaten op grote convectieovens. Maar hier zit het probleem: het opwarmen van grote hoeveelheden lucht is een energieverbruik. Erger nog: al die bewegende lucht dient eigenlijk als transportmiddel voor stofdeeltjes die de schijven kunnen beschadigen.
Daarom zijn we overgestapt op vacuüm-compatible infrarode (IR)-verwarmers. Hierdoor wordt het hele proces efficiënter.
Hoe het werkt
In een vacuüm kan je geen warmte met lucht verspreiden. Dat is fysiek onmogelijk. Dus maken we gebruik van straling. Stel je voor dat de zon op je huid schijnt: IR-lampen geven elektromagnetische golven af die recht door het materiaal heen gaan en dit opwarmen. We verspillen geen tijd aan het opwarmen van de wanden van de kamer of de lucht eromheen. Geen geforceerde luchtcirculatie, geen grote filtersystemen. Gewoon directe energieoverdracht.
Het is efficiënt. Je energierekening blijft laag en je schijven blijven schoon.
Het omgaan met loodvrije materialen
Als je werkt met loodvrije lijmsoorten of andere materialen, weet je dat deze gevoelig zijn voor temperatuur. Als de temperatuur niet precies goed is, kan er oxidatie of vervorming optreden.
Wij gebruiken kortegolfradiatie, omdat dit snel werkt. Je kunt de gewenste temperatuur in slechts enkele seconden bereiken. Hierdoor hoeven de onderdelen niet langer dan nodig in de hitte te blijven. Op deze manier voorkom je dat gevoelige onderdelen beschadigen.
De realiteit (de compromissen)
Je kunt niet zomaar een willekeurige lamp uit de winkel pakken en die in een vacuüm gebruiken. De sluitingen en elektrische verbindingen moeten van hoge kwaliteit zijn, anders zal er lekken ontstaan. Bovendien moet je rekening houden met eventuele reststoffen die zich op de kwartsbuis kunnen ophopen. Als dat gebeurt, kunnen de IR-golven niet meer door het materiaal heen gaan, waardoor de hitte afneemt. Je hebt dan een nauwkeurig schoonmaakproces nodig of een speciaal coating om alles soepel te laten werken.
Maar zodra alles goed is ingesteld, heb je een schoner werkplek en een snellere werkwijze, terwijl je tegelijkertijd de milieudoelstellingen behaalt. Het is een win-winsituatie.