In de productieruimte hangt alles af van de details. Een verschil van 0,5°C tijdens het verhitten van de fotoresist kan ervoor zorgen dat de breedte van de lijnen zelfs maar enkele nanometers verandert. Eén minuut onverwachte stilstand tijdens het verwerken van de producten kan de hele productieplanning in de war brengen.
De stroomkabel voor de verwarmingselementen? Dat is geen simpel accessoire. Het is juist de belangrijkste verbinding tussen de ingestelde temperatuur en het daadwerkelijke proces. Als deze verbinding niet goed werkt, heeft dat invloed op de kwaliteit van het product en op de tijd die nodig is om het product te produceren.
Wat technisch gezien belangrijk is: Wij maken stroomkabels voor verwarmingselementen die een stabiele warmteafgifte mogelijk maken en een nauwkeurige temperatuurregeling garanderen. Door een geschikte geometrie van de geleiders en isolatie te kiezen, verkrijgt men een snelle temperatuurregeling met een nauwkeurige controle.
Men kan rekenen op een temperatuurverschil van maximaal ±0,1°C bij de verbinding met de apparatuur. De materialen moeten geschikt zijn voor gebruik in een schone ruimte met een klasse van 1–100. Tijdens het thermal cycling mag er geen sprake zijn van particules. De kabels moeten ook beschermd zijn tegen elektromagnetische storingen, zodat de temperatuursensoren en controllers nauwkeurig blijven werken.
Waarom dit in de praktijk belangrijk is: Bij het drogen en schoonmaken van wafer wordt de temperatuur gemaximaliseerd, zodat er geen vocht op het oppervlak komt te zitten. Tijdens de lithografie zorgt de kabel ervoor dat de temperatuur binnen de gewenste grenzen blijft, zodat de kwaliteit van het product behouden blijft. Bij het verpakken van producten zorgt de kabel ervoor dat de temperatuur consistent blijft, zodat er minder defecten ontstaan. Hierdoor zijn er minder herwerkingsstappen nodig en is de energieverbruik minder, omdat er minder warmteverliezen zijn.
Wat er goed moet worden geregeld: De dikte van de kabel moet overeenkomen met de belasting en de spanning die op de kabel komt te staan. Als de dikte van de kabel niet correct is of als de contactweerstand van de connectoren hoog is, kunnen er lokale hotspots ontstaan, waardoor de temperatuur niet stabiel blijft.
De kabel moet zodanig worden geplaatst dat er geen scherpe bochten zijn en dat de kabel geen contact maakt met chemische stoffen. Daarnaast moet de compatibiliteit met de connectors van de apparatuur en de feedbacksnelheid van de controller worden gecontroleerd.
De kabel moet worden beschouwd als onderdeel van het thermische systeem. Het mag niet als iets apart worden gezien.