Zodra de wafer de lithografie heeft doorlopen, gaat deze naar de die attach op de verpakkingslijn. Voor die overdracht moet je elke spoor van vocht van het oppervlak verwijderen. Laat er iets achter en je speelt met het risico op holtes in de ondervulling, delaminatie aan de verbindingsinterface, of een latente betrouwbaarheidsschade die niet zichtbaar is bij inline inspectie.
De droogstap is geen passieve wachttijd—het is een actieve thermische beweging die de basis legt voor de gehele encapsulatievolgorde.
Wat in de echte wereld telt, is controle waarop je kunt rekenen, dag na dag. Onze droogmodules behouden thermische uniformiteit op wafer-niveau binnen ±0,1°C over het substraat, functioneren in cleanroom Klasse 1–100, en voegen tijdens de cyclus geen deeltjes toe.
We gebruiken NIR-verhitting voor snelle, contactloze energieafgifte, zodat het oppervlak het doel bereikt zonder de bulk te verhitten. Die temperatuurprecisie komt direct in de fotoresist-bakstappen—soft bake en hard bake—waardoor je stabiele controle over kritische afmetingen en minder scum-defecten krijgt. Herhaalbaarheid is ingebakken in het thermische profiel, en het gereedschap houdt de lijn draaiende met 24/7 betrouwbaarheid.
Hier is het eenvoudige deel: je moet het thermische budget nauwkeurig beheren zodat die attach en encapsulatie dezelfde oppervlaktecondities zien, cyclus na cyclus. Strakke uniformiteit vermindert afval, versnelt ombouw en verlaagt energie per lot.
Het procesvenster opent zich zonder dat de doorvoer in het gedrang komt, en het gereedschap past naadloos in bestaande verpakkingsstromen.
Een paar praktische opmerkingen. NIR-drogen is gevoelig voor de reflectiviteit en emissiviteit van het substraat, dus je moet het thermische profiel voor elke productstapel afstemmen.
Installatie komt neer op het afstemmen van de afzuiging en aanvoerlucht op de luchtstroom van het gereedschap, en het uitlijnen van de kamer met de handler om de deeltjesprestaties op niveau te houden. We leveren toepassingsgegevens en interface-specificaties om de kwalificatietijd te verkorten.