MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

공기를 가열하는 것을 중단하라: MEMS 웨이퍼를 건조시키는 더 나은 방법 MEMS 제조 과정에 참여해본 사람이라면, 웨이퍼를 건조시키는 데 얼마나 큰 어려움이 있는지 잘 알 것입니다. 이는 균형을 맞춰야 하는 문제입니다. 웨이퍼가 완전히 마르고 잔여물이 없어야 하지...