ASML 리소그래피 램프 부품

팹 현장에서는 알다시피, 사진감광제를 가열할 때 온도가 단 0.2°C만 변해도 정밀한 치수 제어에 문제가 생기고, 그로 인해 많은 웨이퍼가 낭비됩니다. 따라서 고정된 열 기준점을 제공하는 램프가 필요합니다. 당사의 ASML 리소그래피 램프는 바로 그러한 성능을 제공하...