니콘 스테퍼 램프 교체

리소그래피 공정에서, 출력이나 온도 프로파일에 변동이 있는 니콘 스테퍼 램프는 단순히 빛의 세기만 약해지는 것이 아닙니다. 이로 인해 노출량에 오차가 생기고, 소프트 베이크와 하드 베이크 과정에서 포토레지스트의 상태도 제대로 유지되지 않습니다. 그 결과 선폭의 변동,...