히터로 인해 진공 상태가 망가지는 것을 막으세요.
클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면, 입자나 화학물질이 방출되는 문제가 얼마나 심각한지 잘 알고 있을 것입니다. 아주 작은 이물질 하나만 있어도 전체 제품이 망가질 수 있습니다.
문제는 대부분의 일반적인 히터들이 이러한 상황에 적합하게 설계되지 않았다는 점입니다. 이러한 히터들은 접착제나 저가의 코팅재, 혹은 열에 약한 금속을 사용하기 때문에, 열이 가해지면 오염물질이 진공 챔버 안으로 유입됩니다.
우리는 더 나은 방법을 찾아냈습니다. 바로 고순도의 합성 석영 적외선 램프를 사용하는 것입니다.
비결은 소재에 있습니다.
우리는 융합된 규소 석영을 사용합니다. 이 물질은 매우 순수하기 때문에, 열이 가해져도 휘발성 유기화합물이 새어나오는 걱정을 할 필요가 없습니다. 게다가 일반 유리와 달리, 온도 변화가 심해도 깨지지 않습니다. 또한, 조립 과정에서 모든 유기질 결합제를 제거했습니다. 왜냐하면 진공 상태에서는 히터가 조용히 작동해야 하기 때문입니다. 오염물질도 발생하지 않고, 웨이퍼도 망가지지 않으며, 문제도 생기지 않습니다.
진공 상태에서의 열 문제 해결
진공 상태에서는 복사열만이 열을 전달하는 수단입니다. 공기가 없으므로 램프 표면의 온도가 매우 빠르게 상승할 수 있습니다. 우리는 이러한 문제를 해결하기 위해 고출력 밀도를 가진 램프를 사용합니다. 이렇게 하면 목표 온도에 빠르게 도달할 수 있어, 작업 시간을 크게 단축할 수 있습니다.
하지만 주의해야 할 점이 있습니다. 열 차폐 장치를 반드시 확인해야 합니다. 만약 복사열이 다시 램프 내부로 반사된다면, 결국 전극이 손상될 수 있습니다.
실제 환경에서의 사용
우리는 표준 커넥터를 사용하기 때문에, 이 램프들은 그대로 교체할 수 있습니다.
이러한 시스템에서 가장 위험한 부분은 석영관과 전기 연결부 사이의 밀폐 상태입니다. 바로 그곳에서 누출이 발생합니다. 이를 해결하기 위해, 우리는 공기가 들어오지 않도록 하는 특수한 밀폐재를 사용합니다.
마지막 팁입니다. 고순도 석영은 화학적으로는 강하지만, 물리적으로는 취약합니다. 만약 진공 펌프가 너무 많이 진동한다면, 그 진동으로 인해 시간이 지나면서 미세한 균열이 생길 수 있습니다. 따라서 진동을 줄여주는 부품을 사용하는 것이 좋습니다. 이 작은 변화만으로도 램프의 수명을 훨씬 늘릴 수 있습니다.